中古機 マスフローコントローラー（MFC） Aera製、型式FC-D980のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや高精度な薄膜堆積装置、各種ガス制御システムにおいて広く採用されているメタルシール仕様のデジタルマスフローコントローラーです。熱式センサーを用いた質量流量測定方式と、高速応答性に優れたソレノイドバルブを組み合わせることで、安定したガス流量制御を行います。内部に搭載されたデジタル回路により、一次側の供給圧力変動が生じた際にも迅速に補正を行い、安定した流量を維持できるのが特徴です。接液部にはクリーン度の高い金属シール構造を採用しており、ガスの放出や外部へのリークを極限まで低減しているため、高純度ガスや各種反応性ガスの制御に適しています。本個体は窒素ガス（N2）専用として設定されており、最大1000SCCM（1SLM）までの制御に対応する高精度モデルです。

【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス**：N2（窒素）
* **最大制御流量（F.S.）**：1000 SCCM (1 SLM)
* **流量制御範囲**：2% 〜 100% F.S.
* **流量精度**：±1.0% F.S.
* **再現性**：±0.2% F.S.
* **応答時間**：1.0秒以下（全閉から全開への移行時、代表値）
* **シール仕様**：メタルシール
* **動作温度範囲**：5℃ 〜 50℃
* **許容動作差圧**：50 kPa 〜 300 kPa（標準的な一次・二次圧差）
* **最大動作圧力**：1.0 MPa（耐圧制限）
* **接ガス部主要材質**：SUS316L、ニッケル合金等
* **本体外形寸法**：幅（面間） 約125 mm × 奥行（本体厚み） 約37 mm × 高さ 約180 mm（継手・コネクタ等の突起部を除く参考値）
* **バルブ動作形式**：常時閉（Normally Closed / N.C.）