中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
ヤマタケ Yamatake
型式CMQ
年式表記：
仕様:空気 200ml/分
部品どり
仕様:空気 200ml/分
部品どり
本体価格(税別、送料別)
50,000円
【AIによる装置概要】
独自のマイクロフローセンサを搭載した高性能な熱式マスフローコントローラです。本製品は、空気や窒素などの非腐食性ガスに対応し、最大200 mL/min (standard)までの微少流量を高精度かつ高速に制御します。シリコン微細加工技術（MEMS）を用いたセンサの採用により、従来の熱式センサに比べて優れたゼロ点安定性と高速応答性を実現しており、設定値変更から1秒以下で目標流量へ安定させることが可能です。実験室でのガス混合、各種分析装置へのキャリアガス供給、半導体関連の評価装置など、微小流量の緻密なプロセス制御が求められる用途に適しています。24V DC電源で動作し、アナログ信号による流量設定および流量出力をサポートします。
【AIによる参考仕様】
※本仕様はメーカー公表の同シリーズにおける代表値であり、中古品現物の個別仕様（接続形状、校正ガス種、入出力信号仕様など）と異なる場合があります。
* **対象ガス：** 空気（Air） / 窒素（N₂）等
* **最大制御流量（フルスケール）：** 200 mL/min (standard)（0℃、101.325 kPa基準）
* **流量制御可能範囲：** 4～200 mL/min (standard)（フルスケールの2%～100%）
* **精度：** ±1.0% F.S.
* **繰り返し性：** ±0.2% F.S.
* **応答速度：** 1秒以下（設定変更に対し±2% F.S.以内）
* **動作差圧範囲：** 50～300 kPa
* **耐圧力：** 500 kPa
* **動作周囲温度：** 10～40℃（結露なきこと）
* **電源電圧：** DC 24V ±10%
* **消費電流：** 最大 150 mA
* **アナログ入出力信号：** 4～20 mA DC、1～5 V DC、または0～5 V DC（機種選択仕様による）
* **ガス接触部材質：** SUS316、フッ素ゴム（FKM）、珪素、ガラス
* **電気接続：** D-sub 9ピンコネクタ
独自のマイクロフローセンサを搭載した高性能な熱式マスフローコントローラです。本製品は、空気や窒素などの非腐食性ガスに対応し、最大200 mL/min (standard)までの微少流量を高精度かつ高速に制御します。シリコン微細加工技術（MEMS）を用いたセンサの採用により、従来の熱式センサに比べて優れたゼロ点安定性と高速応答性を実現しており、設定値変更から1秒以下で目標流量へ安定させることが可能です。実験室でのガス混合、各種分析装置へのキャリアガス供給、半導体関連の評価装置など、微小流量の緻密なプロセス制御が求められる用途に適しています。24V DC電源で動作し、アナログ信号による流量設定および流量出力をサポートします。
【AIによる参考仕様】
※本仕様はメーカー公表の同シリーズにおける代表値であり、中古品現物の個別仕様（接続形状、校正ガス種、入出力信号仕様など）と異なる場合があります。
* **対象ガス：** 空気（Air） / 窒素（N₂）等
* **最大制御流量（フルスケール）：** 200 mL/min (standard)（0℃、101.325 kPa基準）
* **流量制御可能範囲：** 4～200 mL/min (standard)（フルスケールの2%～100%）
* **精度：** ±1.0% F.S.
* **繰り返し性：** ±0.2% F.S.
* **応答速度：** 1秒以下（設定変更に対し±2% F.S.以内）
* **動作差圧範囲：** 50～300 kPa
* **耐圧力：** 500 kPa
* **動作周囲温度：** 10～40℃（結露なきこと）
* **電源電圧：** DC 24V ±10%
* **消費電流：** 最大 150 mA
* **アナログ入出力信号：** 4～20 mA DC、1～5 V DC、または0～5 V DC（機種選択仕様による）
* **ガス接触部材質：** SUS316、フッ素ゴム（FKM）、珪素、ガラス
* **電気接続：** D-sub 9ピンコネクタ