中古機 マスフローコントローラー（MFC） MKS製、型式649A-27650のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、ガス流量測定と圧力制御の機能を一体化したエラストマーシール式の高性能制御ユニットです。圧力センサー、コントロールバルブ、および制御電子回路がコンパクトに統合されており、ガス供給ラインの省スペース化に貢献します。今回の対象個体は、ヘリウム（He）ガスにおいてフルスケール10 SCCMの制御に対応する仕様となっています。外部の圧力測定器を別途設けることなく、単体で高精度なクローズドループ制御が可能です。さらに、専用の配管ユニットが1式付属しているため、既存システムへの組み込みやセットアップがスムーズに行えます。半導体プロセス、真空装置、ガス分析、各種研究開発用途における、微小流量の精密な制御に適しています。

【AIによる参考仕様】
- 対応ガス：ヘリウム（He）
- フルスケール流量：10 SCCM
- 制御方式：圧力および流量のクローズドループ制御
- シール材質：エラストマー
- 応答時間：2.0秒以下
- 制御精度：±1.0% of F.S.（フルスケール）
- 再現性：±0.2% of F.S.
- 分解能：0.1% of F.S.
- 動作周囲温度：15℃～40℃
- 外部インターフェース：15ピン D-subコネクタ（アナログ信号）
- 構成品：本体、配管ユニット 1式