中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
堀場エステック Stec
型式SEC-421
年式表記：
仕様:
ガス種：O2 流量：1000 SCCM
仕様:
ガス種：O2 流量：1000 SCCM
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
このマスフローコントローラは、気体の質量流量を精密に測定・制御する装置です。中流量域（5 SLM 〜 20 SLM）のガス制御に対応しており、半導体製造プロセス、研究開発用の実験設備、各種産業用ガスラインなど、幅広い分野で採用されています。制御バルブには、非通電時に自動的に流路を遮断する安全性の高いノーマリークローズ（N.C.）方式を採用しています。
熱式質量流量センサーの搭載により、周囲の温度や一次側・二次側の圧力変動に影響されない、高精度かつ安定した流量制御が可能です。シール部にはエラストマー（フッ素ゴム等）を使用しており、気密性を確保しつつ優れたコストパフォーマンスを実現しています。制御信号には実績のあるアナログ方式（0〜5 VDC）を採用しており、D-sub 15ピンコネクタを介して既存の制御システムへの組み込みやリプレイスがスムーズに行えます。
【AIによる参考仕様】
・制御流量レンジ：5 SLM 〜 20 SLM（窒素ガス換算）
・バルブ動作形式：ノーマリークローズ（N.C. / 非通電時閉）
・流量制御精度：±1.0% F.S.（フルスケール）
・再現性：±0.2% F.S.
・応答速度：5秒以内
・動作差圧範囲：98 kPa 〜 294 kPa
・耐圧：980 kPa
・外部リーク量：1.0 × 10⁻⁸ Pa・m³/sec He 以下
・シール材質：エラストマー（フッ素ゴム等）
・主要ガス接触部材質：SUS316、フッ素ゴム
・入出力制御信号：0 〜 5 VDC
・駆動電源：DC±15V（+15V：60mA、-15V：180mA）
・電気接続コネクタ：D-sub 15ピン
・標準接続継手：1/4インチ（※中古品のため、実際の継手形状は現物優先となります）
このマスフローコントローラは、気体の質量流量を精密に測定・制御する装置です。中流量域（5 SLM 〜 20 SLM）のガス制御に対応しており、半導体製造プロセス、研究開発用の実験設備、各種産業用ガスラインなど、幅広い分野で採用されています。制御バルブには、非通電時に自動的に流路を遮断する安全性の高いノーマリークローズ（N.C.）方式を採用しています。
熱式質量流量センサーの搭載により、周囲の温度や一次側・二次側の圧力変動に影響されない、高精度かつ安定した流量制御が可能です。シール部にはエラストマー（フッ素ゴム等）を使用しており、気密性を確保しつつ優れたコストパフォーマンスを実現しています。制御信号には実績のあるアナログ方式（0〜5 VDC）を採用しており、D-sub 15ピンコネクタを介して既存の制御システムへの組み込みやリプレイスがスムーズに行えます。
【AIによる参考仕様】
・制御流量レンジ：5 SLM 〜 20 SLM（窒素ガス換算）
・バルブ動作形式：ノーマリークローズ（N.C. / 非通電時閉）
・流量制御精度：±1.0% F.S.（フルスケール）
・再現性：±0.2% F.S.
・応答速度：5秒以内
・動作差圧範囲：98 kPa 〜 294 kPa
・耐圧：980 kPa
・外部リーク量：1.0 × 10⁻⁸ Pa・m³/sec He 以下
・シール材質：エラストマー（フッ素ゴム等）
・主要ガス接触部材質：SUS316、フッ素ゴム
・入出力制御信号：0 〜 5 VDC
・駆動電源：DC±15V（+15V：60mA、-15V：180mA）
・電気接続コネクタ：D-sub 15ピン
・標準接続継手：1/4インチ（※中古品のため、実際の継手形状は現物優先となります）