中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Aera
型式FC-770AC
年式表記：
仕様:使用ガスN2 流量100SCCM W115 D35 H130
仕様:使用ガスN2 流量100SCCM W115 D35 H130
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種実験・評価装置において実績のある、高精度なアナログ式マスフローコントローラーです。熱式センサーを用いてガスの質量流量を測定し、内部のピエゾバルブまたは電磁バルブを精密に駆動させることで、正確な流量制御をリアルタイムに実現します。
バルブ形式には、非通電時や緊急時にガス流路を閉止する「常閉（Normally Closed）」仕様が採用されており、プロセスの安全性を確保します。ステップ応答に対する応答時間は2秒以下と高速であり、急激なプロセス変化に対しても安定した追従性を示します。流量測定の精度は±1.0% F.S.（フルスケール）、再現性は±0.2% F.S.と極めて高く、微小流量域においても信頼性の高いガス供給を維持します。アナログインターフェースによるシンプルな電気制御が特徴で、既存システムへの載せ替えやリプレイスが容易に行える汎用性の高いモデルです。
【AIによる参考仕様】
・制御対象ガス：N2（窒素）
・フルスケール流量：100 SCCM
・制御バルブタイプ：常閉（Normally Closed）
・流量制御範囲：2% ～ 100% F.S.
・制御精度：±1.0% F.S.以内
・再現性：±0.2% F.S.以内
・応答速度：2.0秒以下（F.S. 98%到達時間）
・動作温度範囲：5℃ ～ 50℃
・推奨動作差圧：50 kPa ～ 300 kPa
・耐圧性能：最大 1.0 MPa (G)
・外部リーク量：1.0 × 10⁻¹¹ Pa・m³/sec（He）以下
・アナログ制御信号：入出力 0 ～ 5 VDC
・必要駆動電源：DC +15 V（±5%） / DC -15 V（±5%）
・電気コネクタ：D-sub 9ピン（またはD-sub 15ピン ※要現物確認）
・外形寸法：幅 115 mm × 奥行 35 mm × 高さ 130 mm（継手および突起部を含む）
本装置は、半導体製造プロセスや各種実験・評価装置において実績のある、高精度なアナログ式マスフローコントローラーです。熱式センサーを用いてガスの質量流量を測定し、内部のピエゾバルブまたは電磁バルブを精密に駆動させることで、正確な流量制御をリアルタイムに実現します。
バルブ形式には、非通電時や緊急時にガス流路を閉止する「常閉（Normally Closed）」仕様が採用されており、プロセスの安全性を確保します。ステップ応答に対する応答時間は2秒以下と高速であり、急激なプロセス変化に対しても安定した追従性を示します。流量測定の精度は±1.0% F.S.（フルスケール）、再現性は±0.2% F.S.と極めて高く、微小流量域においても信頼性の高いガス供給を維持します。アナログインターフェースによるシンプルな電気制御が特徴で、既存システムへの載せ替えやリプレイスが容易に行える汎用性の高いモデルです。
【AIによる参考仕様】
・制御対象ガス：N2（窒素）
・フルスケール流量：100 SCCM
・制御バルブタイプ：常閉（Normally Closed）
・流量制御範囲：2% ～ 100% F.S.
・制御精度：±1.0% F.S.以内
・再現性：±0.2% F.S.以内
・応答速度：2.0秒以下（F.S. 98%到達時間）
・動作温度範囲：5℃ ～ 50℃
・推奨動作差圧：50 kPa ～ 300 kPa
・耐圧性能：最大 1.0 MPa (G)
・外部リーク量：1.0 × 10⁻¹¹ Pa・m³/sec（He）以下
・アナログ制御信号：入出力 0 ～ 5 VDC
・必要駆動電源：DC +15 V（±5%） / DC -15 V（±5%）
・電気コネクタ：D-sub 9ピン（またはD-sub 15ピン ※要現物確認）
・外形寸法：幅 115 mm × 奥行 35 mm × 高さ 130 mm（継手および突起部を含む）