中古機 マスフローコントローラー（MFC） 堀場エステック　Stec製、型式SEC-4400MO-UCのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体や電子デバイス製造プロセスにおける微細加工向けに設計された、超高純度（ウルトラクリーン）対応の熱式マスフローコントローラーです。接ガス部には優れた耐食性を備えた金属材料を採用し、メタルシール構造によって外部へのガスリークを極限まで抑制しています。対象ガスとして、反応性・腐食性の高いジクロロシラン（SiH2Cl2）に対応しており、最大流量200 SCCMの精密な流量制御を実現します。高精度な熱式センサーと高速駆動バルブの組み合わせにより、設定値への迅速な応答性と優れた経時安定性を両立しています。プロセスガスの微量かつ厳密な供給が求められる、薄膜堆積（CVD）などのガスラインに好適な仕様となっています。

【AIによる参考仕様】
* **対応ガス種:** ジクロロシラン（SiH2Cl2）
* **最大制御流量:** 200 SCCM
* **制御範囲:** 2% ～ 100% F.S.（フルスケール）
* **流量精度:** ±1.0% F.S.
* **再現性:** ±0.2% F.S.
* **応答速度:** 1.0秒以下
* **シール構造:** メタルシール（ウルトラクリーン仕様）
* **外部リーク量:** 1.0 × 10⁻¹¹ Pa・m³/sec（He）以下
* **動作差圧範囲:** 98 ～ 294 kPa
* **耐圧:** 1.0 MPa
* **接ガス部材質:** SUS316L（高耐食仕様）
* **電気接続:** D-sub 9pin
* **駆動電源:** DC±15V
* **外形寸法:** W125 mm × D31 mm × H127 mm