中古機 マスフローコントローラー（MFC） 堀場エステック　Stec製、型式SEC-7440MCのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスなどの高度なガス流量制御において実績を持つ、高精度かつ高速応答性に優れたメタルシールタイプのデジタルマスフローコントローラーです。
反応性が高く腐食性を持つWF6（六フッ化タングステン）ガスに対応しており、優れた気密性と耐食性を確保するためのメタルガスケットによるオールメタルシール構造が採用されています。
内部のデジタル回路による制御ロジックにより、従来のアナログ制御方式と比べて経時変化が少なく、直線性や再現性に優れた流量制御が可能です。
フルスケール流量は100 SCCMに設定されており、薄膜形成（CVD）をはじめとする各種精密プロセスでの正確な微少流量管理に適しています。
筐体寸法は幅133mm、奥行き31mm、高さ127mmとコンパクトに設計されており、限られたスペースのガスパネルや配管システムへもスムーズに組み込むことができます。

【AIによる参考仕様】
* **装置種別**: デジタルマスフローコントローラー
* **対応ガス**: WF6（六フッ化タングステン）
* **流量レンジ**: 100 SCCM（0℃、101.3kPa 基準）
* **外形寸法**: W133 mm × D31 mm × H127 mm
* **シール材質**: メタルシール
* **流量制御範囲**: 2% ～ 100% F.S.
* **応答速度**: 1秒以下（全可変帯域における代表値）
* **精度**: ±1.0% F.S.（設定値に対する高精度制御）
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **動作温度範囲**: 5℃ ～ 50℃
* **耐圧性能**: 最大使用圧力 300 kPa（推奨仕様に準ずる）