中古機 マスフローコントローラー（MFC） Aera製、型式FC-D981Cのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種産業分野において、気体の質量流量を高精度に測定・制御する熱式マスフローコントローラーです。制御対象ガスは酸素（O2）で、最大20SLMまでの大流量制御に対応しています。ガス接触部には高信頼性のメタルシール構造を採用しており、外部へのガス漏洩やプロセスへの不純物混入を極限まで低減します。デジタル通信インターフェースを搭載しているため、ノイズの影響を受けにくく、外部システムからの精密な流量設定や動作ステータスのリアルタイム監視が可能です。優れた高速応答性と高い制御再現性を備えており、ガス供給ラインの安定化とプロセスの再現性向上に貢献します。

【AIによる参考仕様】
・対象ガス：O2（酸素）
・最大流量：20 SLM
・シール材質：メタルシール
・流量精度：±1.0% F.S.（フルスケール）
・再現性：±0.2% F.S.
・応答時間：1.0秒以下
・動作差圧範囲：100 kPa ～ 300 kPa（推奨値）
・耐圧：最大1.0 MPa
・外形寸法：幅 155 mm × 奥行 39 mm × 高さ 170 mm
・接続継手：1/4インチ（VCR等）
・通信仕様：デジタル通信（DeviceNet等）