中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Tylan
型式FC-771C
年式表記：
仕様:ガスO2 流量20SLM W125 D31 H140
仕様:ガスO2 流量20SLM W125 D31 H140
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスをはじめとする各種産業や研究開発において、気体の質量流量を高精度に測定・制御するために設計された熱式マスフローコントローラーです。本モデルは対象ガスとして酸素（O2）に対応しており、最大流量20 SLM（Standard Liters per Minute）の中・大流量レンジの制御に適しています。
内部に搭載された高精度な熱式流量センサー、バイパス、および応答性に優れた電磁式コントロールバルブの連携により、一次側の供給圧力や温度に変動が生じた場合でも、設定された一定の流量を安定して維持します。制御信号および流量出力信号には、汎用性の高い0〜5 VDCのアナログ電圧信号を採用しており、既存のプロセス制御システムや各種コントロールボードと容易に接続可能です。設定変更に対して迅速に追従する優れた応答性能と高い再現性を備えており、安定したガス供給プロセスをサポートします。
【AIによる参考仕様】
* **対象ガス：** 酸素（O2）
* **最大制御流量：** 20 SLM
* **流量制御範囲：** 2% 〜 100% F.S.
* **制御精度：** ±1.0% F.S.（フルスケール）
* **直線性：** ±0.5% F.S.
* **再現性：** ±0.2% F.S.
* **応答時間：** 2.0秒以下（目標値の±2%以内）
* **必要動作差圧：** 約100 kPa 〜 300 kPa (1.0 〜 3.0 kgf/cm²)
* **耐圧：** 約1.0 MPa (10 kgf/cm²G)
* **動作温度範囲：** 5℃ 〜 50℃
* **流量設定信号（入力）：** 0 〜 5 VDC
* **流量出力信号：** 0 〜 5 VDC
* **駆動電源：** +15 VDC (±5%)、-15 VDC (±5%)
* **外形寸法：** 幅 125 mm × 奥行 31 mm × 高さ 140 mm（継手部等を含む）
本装置は、半導体製造プロセスをはじめとする各種産業や研究開発において、気体の質量流量を高精度に測定・制御するために設計された熱式マスフローコントローラーです。本モデルは対象ガスとして酸素（O2）に対応しており、最大流量20 SLM（Standard Liters per Minute）の中・大流量レンジの制御に適しています。
内部に搭載された高精度な熱式流量センサー、バイパス、および応答性に優れた電磁式コントロールバルブの連携により、一次側の供給圧力や温度に変動が生じた場合でも、設定された一定の流量を安定して維持します。制御信号および流量出力信号には、汎用性の高い0〜5 VDCのアナログ電圧信号を採用しており、既存のプロセス制御システムや各種コントロールボードと容易に接続可能です。設定変更に対して迅速に追従する優れた応答性能と高い再現性を備えており、安定したガス供給プロセスをサポートします。
【AIによる参考仕様】
* **対象ガス：** 酸素（O2）
* **最大制御流量：** 20 SLM
* **流量制御範囲：** 2% 〜 100% F.S.
* **制御精度：** ±1.0% F.S.（フルスケール）
* **直線性：** ±0.5% F.S.
* **再現性：** ±0.2% F.S.
* **応答時間：** 2.0秒以下（目標値の±2%以内）
* **必要動作差圧：** 約100 kPa 〜 300 kPa (1.0 〜 3.0 kgf/cm²)
* **耐圧：** 約1.0 MPa (10 kgf/cm²G)
* **動作温度範囲：** 5℃ 〜 50℃
* **流量設定信号（入力）：** 0 〜 5 VDC
* **流量出力信号：** 0 〜 5 VDC
* **駆動電源：** +15 VDC (±5%)、-15 VDC (±5%)
* **外形寸法：** 幅 125 mm × 奥行 31 mm × 高さ 140 mm（継手部等を含む）