中古機 マスフローコントローラー（MFC） Unit製、型式UFC-1100のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスをはじめとする高精度なガス制御が求められる環境で広く採用されてきた、実績のあるアナログ式マスフローコントローラーです。
本個体は、腐食性ガスである塩化水素（HCl）に対応した設計となっており、最大流量（フルスケール）は100 SCCMに設定されています。
内部には精密な熱式流量センサと、応答性に優れたソレノイド駆動のコントロールバルブを搭載しており、ガス流量の変動に対して迅速かつ安定した制御を行います。アナログ信号（0〜5 VDC）による流量設定および出力に対応しているため、既存のアナログシステムやプロセス制御機器へ容易に統合可能です。堅牢な構造と経年変化の少ない信頼設計により、厳しいプロセス環境においても安定したガス供給ラインの構築をサポートします。

【AIによる参考仕様】
* **対応ガス**：HCl（塩化水素）
* **最大流量レンジ**：100 SCCM
* **制御・出力信号**：0〜5 VDC（アナログ）
* **測定精度**：±1.0% F.S.（フルスケール）
* **再現性**：±0.15% F.S.
* **応答時間**：2秒以下（設定値の±2%以内への到達時間）
* **動作電源**：±15 VDC
* **推奨動作差圧**：約70 kPa 〜 275 kPa（10 〜 40 psid）
* **最大動作圧力**：約3.4 MPa（500 psi）
* **接ガス部主要材質**：ステンレス鋼（SUS316L相当）、耐食性エラストマーなど
* **電気コネクタ**：D-sub 9ピン（アナログ接続）
* **配管継手**：1/4インチ VCR仕様（※標準的な仕様に基づく参考値です。現物の接続形状をご確認ください）

※上記の仕様情報はシリーズ共通の代表的な設計値に基づく参考情報です。中古機器の性質上、実際の配線ピンアサインや継手、キャリブレーション状態などの詳細については必ず現物をご確認の上ご使用ください。