中古機 マスフローコントローラー（MFC） Aera製、型式FC-D980Cのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種薄膜形成装置などで広く使用されている高精度な熱式マスフローコントローラーです。ガス種はCF4（四フッ化炭素）に対応し、最大流量100SCCMまでの精密な流量制御を実現します。優れた熱式センサー技術とデジタル制御アルゴリズムにより、高速応答かつ高い再現性を備えているのが特徴です。電磁駆動式のコントロールバルブを採用しており、微小流量域から安定した制御性能を維持します。気密性に優れたメタルシール構造を採用しているため、プロセスガスの外部漏洩を防ぎ、高真空かつ高クリーンな環境下での使用に適しています。

【AIによる参考仕様】
・対応ガス：CF4（四フッ化炭素）
・最大制御流量（フルスケール）：100 SCCM
・流量制御範囲：2%〜100% F.S.
・流量精度：±1.0% F.S.
・再現性：±0.2% F.S.
・応答速度：1.0秒以下（代表値）
・バルブ動作：ノーマリークローズ（N.C. / 無通電時閉）
・シール材質：メタルシール
・継手サイズ：1/4インチ VCR仕様相当
・通信プロトコル：DeviceNet等
・外形寸法：W130 mm × D40 mm × H170 mm（実測値）