中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Aera
型式FC-790C
年式表記：
仕様:ガス:SF6 流量:100SCCM
仕様:ガス:SF6 流量:100SCCM
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本マスフローコントローラー（MFC）は、半導体製造プロセスや真空成膜装置、実験用ガス導入ラインなどで広く実績を持つアナログ制御タイプのガス流量制御装置です。本個体は、優れた絶縁特性やエッチング特性を持つ六フッ化硫黄（SF6）ガス用に校正されており、最大流量（フルスケール）100 SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）に対応します。
内部のセンサー部やバルブ構造には高精度な熱式センサー技術が用いられており、設定値の変更に対して1.0秒以下で応答する優れた追従性を備えています。ガス接触部には耐食性の高いステンレス鋼（SUS316L等）を採用し、シール部には実績のあるエラストマー素材（フッ素ゴム等）を使用することで、外部リークを抑えた確実な気密性を維持します。動作には±15 VDCの外部電源を使用し、0〜5 VDCのアナログ信号によって流量の制御およびモニタリングを行います。研究開発用や既存設備の予備・交換用部材として適した、高い汎用性と信頼性を備えたコンポーネントです。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス**：SF6（六フッ化硫黄）
* **最大流量（フルスケール）**：100 SCCM
* **シール材質**：エラストマー（フッ素ゴム / Viton 等）
* **主要接ガス部材質**：SUS316L等
* **制御・出力信号**：0〜5 VDC（アナログ）
* **電源電圧**：±15 VDC (±5%)
* **流量精度**：±1.0% F.S. (フルスケール) 以内
* **再現性**：±0.2% F.S. 以内
* **応答時間**：1.0秒以下（典型値）
* **動作温度範囲**：5〜50℃
* **最大動作圧力**：約1.0 MPa (150 psig)
* **外部リークレート**：1 × 10⁻⁹ atm・cc/sec (He) 以下
※上記は当該シリーズの代表的な仕様に基づいた参考値です。継手サイズ（1/4インチVCRなど）やピン配置等の詳細な構成は、必ず現品のラベルおよび形状をご確認ください。
本マスフローコントローラー（MFC）は、半導体製造プロセスや真空成膜装置、実験用ガス導入ラインなどで広く実績を持つアナログ制御タイプのガス流量制御装置です。本個体は、優れた絶縁特性やエッチング特性を持つ六フッ化硫黄（SF6）ガス用に校正されており、最大流量（フルスケール）100 SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）に対応します。
内部のセンサー部やバルブ構造には高精度な熱式センサー技術が用いられており、設定値の変更に対して1.0秒以下で応答する優れた追従性を備えています。ガス接触部には耐食性の高いステンレス鋼（SUS316L等）を採用し、シール部には実績のあるエラストマー素材（フッ素ゴム等）を使用することで、外部リークを抑えた確実な気密性を維持します。動作には±15 VDCの外部電源を使用し、0〜5 VDCのアナログ信号によって流量の制御およびモニタリングを行います。研究開発用や既存設備の予備・交換用部材として適した、高い汎用性と信頼性を備えたコンポーネントです。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス**：SF6（六フッ化硫黄）
* **最大流量（フルスケール）**：100 SCCM
* **シール材質**：エラストマー（フッ素ゴム / Viton 等）
* **主要接ガス部材質**：SUS316L等
* **制御・出力信号**：0〜5 VDC（アナログ）
* **電源電圧**：±15 VDC (±5%)
* **流量精度**：±1.0% F.S. (フルスケール) 以内
* **再現性**：±0.2% F.S. 以内
* **応答時間**：1.0秒以下（典型値）
* **動作温度範囲**：5〜50℃
* **最大動作圧力**：約1.0 MPa (150 psig)
* **外部リークレート**：1 × 10⁻⁹ atm・cc/sec (He) 以下
※上記は当該シリーズの代表的な仕様に基づいた参考値です。継手サイズ（1/4インチVCRなど）やピン配置等の詳細な構成は、必ず現品のラベルおよび形状をご確認ください。