中古機 マスフローコントローラー（MFC） Aera製、型式FC-780のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体プロセス、CVD（化学気相成長）装置、あるいは各種研究開発用途で広く使用されている実績豊富なアナログ式のマスフローコントローラ（MFC）です。気密性と実用性のバランスに優れたエラストマー（Vitonなど）シール構造を採用しており、長期間にわたり安定したガス流量制御を提供します。

本個体は、薄膜形成プロセス等で使用されるシラン混合ガス（5% SiH4 / Arバランス）専用に校正されています。フルスケール流量は500 SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）に調整されており、熱式センサ技術と高精度な電磁式比例制御弁の組み合わせにより、再現性の高い流量制御を実現します。制御信号には標準的なアナログ（0〜5 VDC）を採用しているため、既存の制御システムや各種設定器への統合、リプレイスが容易です。プロセスの安定稼働や装置のアップグレードに適した、信頼性の高い熱式質量流量制御機器です。

【AIによる参考仕様】
* **対応ガス種:** 5% SiH4 / Ar（アルゴンバランス5%シラン混合ガス）
* **フルスケール流量:** 500 SCCM
* **制御方式:** アナログ式（熱式質量流量制御）
* **シール材質:** エラストマー（Viton等）
* **流量精度:** ±1.0% F.S.（フルスケール）
* **再現性:** ±0.2% F.S.
* **応答時間:** 2.0秒以下
* **動作周囲温度:** 5 ～ 50℃
* **動作差圧範囲:** 約 98 ～ 294 kPa（1.0 ～ 3.0 kgf/cm²）
* **最大動作圧力:** 約 1.03 MPa（150 psig）
* **外部リークレート:** 1 × 10⁻⁹ atm・cc/sec He 以下
* **入出力信号:** 0 ～ 5 VDC
* **駆動電源:** +15 VDC (±5%) / -15 VDC (±5%)
* **継手サイズ:** 1/4インチ（VCR仕様、またはSwagelok仕様等、実機に準ずる）
* **電気コネクタ:** D-sub 15ピン（またはD-sub 9ピン等、実機に準ずる）

※上記仕様は、同シリーズにおける代表的な標準スペックに基づいた参考値です。バルブ形式（常時閉/常時開）や継手の詳細など、現物固有の仕様については必ず実機をご確認ください。