中古機 マスフローコントローラー（MFC） Aera製、型式FC-D980Cのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや薄膜形成などの高精度なガス制御が要求される環境で広く利用されている、メタルシール方式のデジタルマスフローコントローラです。機密性と耐食性に優れたメタルシール構造を採用しており、外部リークを最小限に抑え、クリーンで安全なガス供給ラインを構築します。対象となる動作ガスはSF6（六フッ化硫黄）で、最大流量200 SCCMまでの精密な流量測定および制御に対応します。高速な応答特性を備えており、設定値に対する迅速な追従が可能です。また、デジタルインターフェースを搭載しているため、システムへの統合やリアルタイムのモニタリング、高精度なフィードバック制御を容易に実現します。

【AIによる参考仕様】
* **対応ガス種:** SF6 (六フッ化硫黄)
* **最大流量レンジ:** 200 SCCM
* **シール構造:** メタルシール
* **バルブタイプ:** 常時閉 (Normally Closed)
* **外形寸法:** 幅125 mm × 奥行37 mm × 高さ180 mm (継手面間：約124 mm仕様)
* **標準的な応答時間:** 1.0秒以下
* **流量制御精度:** ±1.0% F.S. (フルスケール)
* **再現性:** ±0.2% F.S.
* **接続継手:** 1/4インチ VCR仕様相当