中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Aera
型式FC-770AC
年式表記：
仕様:使用ガスN2 流量100SCCM W115 D35 H130 継手スウェジロック 1／4
仕様:使用ガスN2 流量100SCCM W115 D35 H130 継手スウェジロック 1／4
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、半導体プロセスや各種産業用途、研究開発などで広く使用されている、熱式センサーを搭載したアナログ制御方式のマスフローコントローラー（MFC）です。エラストマー（Oリング）シールを採用しており、不活性ガスをはじめとする汎用ガスラインにおいて、高い信頼性と優れたコストパフォーマンスを発揮します。本個体は窒素ガス（N2）仕様となっており、最大流量100 SCCMの精密な流量制御が可能です。外部からの0〜5 VDCのアナログ電圧信号によって流量を設定し、同等の電圧信号で実際の流量をリアルタイムに出力（モニター）します。応答時間は2秒以下と高速であり、急なガス流量の変更に対しても速やかに追従し、安定したプロセス環境を維持します。
【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス**: 窒素（N2）
* **最大流量レンジ**: 100 SCCM
* **制御範囲**: 2% 〜 100% F.S.
* **精度**: ±1.0% F.S.
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **応答時間**: 2.0秒以下（目標値の98%到達まで）
* **動作差圧範囲**: 49 kPa 〜 294 kPa（目安）
* **耐圧力**: 980 kPa（10 kg/cm²）
* **入出力信号**: 0 〜 5 VDC
* **動作電源**: ±15 VDC（±5%）
* **シール材質**: エラストマー（フッ素ゴム等）
* **配管継手**: 1/4インチ Swagelok（スウェジロック）
* **本体外形寸法**: W115 mm × D35 mm × H130 mm（継手含む）
* **電気コネクタ**: D-sub 9ピン（オス）
本装置は、半導体プロセスや各種産業用途、研究開発などで広く使用されている、熱式センサーを搭載したアナログ制御方式のマスフローコントローラー（MFC）です。エラストマー（Oリング）シールを採用しており、不活性ガスをはじめとする汎用ガスラインにおいて、高い信頼性と優れたコストパフォーマンスを発揮します。本個体は窒素ガス（N2）仕様となっており、最大流量100 SCCMの精密な流量制御が可能です。外部からの0〜5 VDCのアナログ電圧信号によって流量を設定し、同等の電圧信号で実際の流量をリアルタイムに出力（モニター）します。応答時間は2秒以下と高速であり、急なガス流量の変更に対しても速やかに追従し、安定したプロセス環境を維持します。
【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス**: 窒素（N2）
* **最大流量レンジ**: 100 SCCM
* **制御範囲**: 2% 〜 100% F.S.
* **精度**: ±1.0% F.S.
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **応答時間**: 2.0秒以下（目標値の98%到達まで）
* **動作差圧範囲**: 49 kPa 〜 294 kPa（目安）
* **耐圧力**: 980 kPa（10 kg/cm²）
* **入出力信号**: 0 〜 5 VDC
* **動作電源**: ±15 VDC（±5%）
* **シール材質**: エラストマー（フッ素ゴム等）
* **配管継手**: 1/4インチ Swagelok（スウェジロック）
* **本体外形寸法**: W115 mm × D35 mm × H130 mm（継手含む）
* **電気コネクタ**: D-sub 9ピン（オス）