中古機 マスフローコントローラー（MFC） Unit製、型式UFC-1100のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセス、理化学研究、各種真空薄膜形成装置などにおいて、気体の質量流量（マスフロー）を極めて正確に測定・制御するための熱式マスフローコントローラーです。
本個体は、優れた熱伝導性を持ちプロセスガスやパージガスとして多用されるヘリウム（He）ガス用に調整されており、最大流量20 sccm（Standard Cubic Centimeters per Minute）の微小流量域における精密なガス供給に対応します。
制御および駆動には実績のあるアナログ方式を採用しており、±15 VDCの電源駆動のもと、0〜5 VDCの電圧信号による流量設定および実流量の出力モニタリングを行います。内部の熱式センサーと比例電磁弁の連携により、一次側の圧力変動に対しても高い再現性と安定した応答性能を発揮します。

【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス:** ヘリウム（He）
* **フルスケール流量:** 20 sccm
* **制御信号（入力）:** 0 ～ 5 VDC
* **流量出力信号:** 0 ～ 5 VDC
* **駆動電源:** ±15 VDC
* **精度:** ±1.0% F.S.（フルスケール）
* **再現性:** ±0.2% F.S.
* **応答時間:** 2秒以下（代表値）
* **バルブ動作:** ノーマリークローズ（N.C. / 無通電時閉）
* **動作差圧範囲:** 0.05 MPa ～ 0.3 MPa
* **耐圧力:** 最大 1.0 MPa
* **電気コネクタ:** 15ピン D-sub コネクタ
* **ガス接続継手:** 1/4インチ VCR相当（メタルシール）
※本仕様はメーカーの標準的な代表値です。経年や個別調整により異なる場合がありますので、現物のポート形状やラベル情報もあわせてご確認ください。