中古機 マスフローコントローラー（MFC） MKS製、型式M100B02852CS1BVのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、信頼性の高い金属シール（メタルシール）構造を採用した高性能なアナログマスフローコントローラー（MFC）です。
ガス接触部には耐食性に優れた316Lステンレス鋼等を使用し、外部リークレート1.0×10⁻⁹ atm-cc/sec（He）以下という極めて高い外部気密性を確保しています。対象ガスはメタン（CH4）、制御可能なフルスケール流量は500 SCCMです。
バルブタイプは非通電時に閉状態となる安全性の高い常時閉（Normally Closed）仕様で、バルブシート部にバイトン（Viton）エラストマーを採用することにより、閉止時のインナーリークを最小限に抑えています。
制御信号は0〜5 VDCのアナログ方式に対応し、接続には標準的な15ピンD-subコネクタを使用します。配管接続用の継手には1/4インチVCRオス（4 VCR）を備えており、半導体製造やクリーンなガス制御ラインへの確実な同軸接続が可能です。

【AIによる参考仕様】
- **対応ガス**：CH4（メタン）
- **フルスケール流量**：500 sccm
- **本体シール構造**：メタルシール（金属シール）
- **バルブシート材質**：Viton（バイトン）エラストマー
- **バルブ動作**：常時閉（Normally Closed）
- **継手形状**：4 VCR オス（1/4インチ VCR互換）
- **電気コネクタ**：標準 15ピン D-sub（オス）
- **制御信号（入力/出力）**：0〜5 VDC
- **駆動電源**：±15 VDC（±5%）
- **測定精度**：±1.0% F.S.（フルスケール）
- **再現性**：±0.2% F.S.
- **応答時間**：2.0秒以下（セットポイントの±2.0%以内）
- **適正動作差圧**：10〜40 psid（約69〜276 kPa）
- **耐圧限界**：500 psig（約3.45 MPa）
- **外部リークレート**：1.0×10⁻⁹ atm-cc/sec（He）以下
- **接ガス部主材質**：316Lステンレス鋼、ニッケル、Viton等