中古機 マスフローコントローラー（MFC） Aera製、型式FC-980のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種薄膜堆積プロセスにおいて、気体（ガス）の質量流量を高精度に測定・制御する金属シール（メタルシール）方式のマスフローコントローラー（MFC）です。対象ガスは腐食性・自発火性を持つジクロロシラン（SiH2Cl2）に対応しており、最大流量200 SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）までの精密な流量制御を実現します。メタルシールの採用により、外部へのガス漏洩や大気混入を極めて低いレベルに抑え、高真空環境やクリーン度が要求されるプロセスラインにおいて高い信頼性を発揮します。経年劣化に強い堅牢な熱線式流量センサーと電磁式コントロールバルブの組み合わせにより、長期にわたり安定した再現性を維持することが可能です。中古機器としての導入にあたっては、配管システムへのシームレスな統合や、既存のアナログ制御システムとの置き換えに適した仕様となっています。

【AIによる参考仕様】
* **対応ガス：** ジクロロシラン（SiH2Cl2）
* **最大流量：** 200 SCCM
* **シール方式：** メタルシール
* **外形寸法：** 幅（W）125 mm × 奥行（D）37 mm × 高さ（H）160 mm（継手・突起部を除く本体基準サイズ）
* **制御バルブ：** 常閉（Normally Closed：無通電時閉）
* **搭載センサー：** 熱式質量流量センサー
* **電気接続（インターフェース）：** アナログ仕様（D-Sub コネクタ）