中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Tylan
型式FC-260
年式表記：
仕様:ガスB2H6 流量500SCCM W130 D25 H110
仕様:ガスB2H6 流量500SCCM W130 D25 H110
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種研究開発において、気体の質量流量を高精度に測定・制御する熱式マスフローコントローラーです。対応ガス種は特殊材料ガスであるジボラン（B2H6）で、最大流量500 SCCMの微小流量域において安定した制御性能を発揮します。
内部の熱式センサーにより、周囲の温度や圧力の変化に左右されない質量流量の測定を行い、連動する電磁式比例制御バルブによって瞬時に設定流量へと調整します。制御信号には実績豊富で信頼性の高いアナログ方式（0-5 VDC）を採用しており、既存システムへのシームレスな統合やリプレイスが容易です。筐体サイズはW130mm×D25mm×H110mmと非常にコンパクトに設計されており、限られたスペースのガスパネル内でも効率的に配置することができます。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス種**: ジボラン（B2H6）
* **最大制御流量**: 500 SCCM（0℃、1気圧基準）
* **外形寸法**: W130 mm × D25 mm × H110 mm
* **流量制御方式**: 熱式流量センサー ＋ ソレノイドバルブ（電磁弁）
* **入出力信号**: 0 〜 5 VDC（アナログ）
* **動作電源**: ±15 VDC（通常 ±5%以内）
* **流量制御精度**: ±1.0% F.S.（フルスケール）
* **直線性**: ±0.5% F.S.
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **応答時間**: 約2秒以内（ステップ応答に対し98%到達）
* **接ガス部主要材質**: SUS316L、フッ素ゴム等
* **耐圧性能**: 最大使用圧力 約0.3 MPa（一次側）
本装置は、半導体製造プロセスや各種研究開発において、気体の質量流量を高精度に測定・制御する熱式マスフローコントローラーです。対応ガス種は特殊材料ガスであるジボラン（B2H6）で、最大流量500 SCCMの微小流量域において安定した制御性能を発揮します。
内部の熱式センサーにより、周囲の温度や圧力の変化に左右されない質量流量の測定を行い、連動する電磁式比例制御バルブによって瞬時に設定流量へと調整します。制御信号には実績豊富で信頼性の高いアナログ方式（0-5 VDC）を採用しており、既存システムへのシームレスな統合やリプレイスが容易です。筐体サイズはW130mm×D25mm×H110mmと非常にコンパクトに設計されており、限られたスペースのガスパネル内でも効率的に配置することができます。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス種**: ジボラン（B2H6）
* **最大制御流量**: 500 SCCM（0℃、1気圧基準）
* **外形寸法**: W130 mm × D25 mm × H110 mm
* **流量制御方式**: 熱式流量センサー ＋ ソレノイドバルブ（電磁弁）
* **入出力信号**: 0 〜 5 VDC（アナログ）
* **動作電源**: ±15 VDC（通常 ±5%以内）
* **流量制御精度**: ±1.0% F.S.（フルスケール）
* **直線性**: ±0.5% F.S.
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **応答時間**: 約2秒以内（ステップ応答に対し98%到達）
* **接ガス部主要材質**: SUS316L、フッ素ゴム等
* **耐圧性能**: 最大使用圧力 約0.3 MPa（一次側）