中古機 マスフローコントローラー（MFC） Tylan製、型式FC-781Cのご紹介

【AIによる装置概要】
半導体製造ラインや各種研究開発用ガス供給システムで長年にわたり実績を持つ、アナログ制御方式の熱式マスフローコントローラーです。信頼性の高い熱式センサーと高精度な電磁弁（制御バルブ）を搭載し、導入されたガスの質量流量を高い再現性で測定・制御します。

本器は水素（H2）ガス用として調整されており、最大流量10SLM（標準状態における毎分10リットル）の精密な流量制御に対応します。シール部には気密性とガス放出特性に優れたメタルシールを採用しており、高純度ガスや可燃性ガスである水素の取り扱いに適しています。インターフェースには±15VDC電源および0〜5VDCのアナログ入出力信号を採用しており、既存の各種制御システムやアナログ流量設定器への組み込み、リプレイスに最適です。

【AIによる参考仕様】
* **対応ガス**：水素（H2）
* **最大制御流量**：10 SLM (Standard Liters per Minute)
* **制御方式**：アナログ制御
* **入出力信号**：0 〜 5 VDC
* **駆動電源**：±15 VDC
* **シール材質**：メタルシール（ガスケット仕様）
* **バルブ動作**：常時閉（Normally Closed / N.C.）
* **継手サイズ**：1/4インチ（VCR等、実機形状要確認）
* **流量精度**：±1.0% F.S. （フルスケールに対して）
* **再現性**：±0.2% F.S.
* **応答時間**：約2〜4秒（設定値の±2%以内に到達する時間）
* **外部コネクタ**：D-sub 20ピン仕様