中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
堀場エステック Stec
型式SEC-410Z
年式表記：
仕様:ガス:SiH4 流量:200SCCM
仕様:ガス:SiH4 流量:200SCCM
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種精密工業において、気体の質量流量を高精度に測定・制御するメタルシール仕様のアナログマスフローコントローラーです。
気密性と耐食性に極めて優れたメタルガスケットシール構造を採用しているため、ガス放出や外部リークが最小限に抑えられており、高純度ガスや腐食性ガスの制御に適しています。本個体は、半導体分野で汎用される特殊材料ガスであるモノシラン（SiH4）向けに調整されており、フルスケール流量は200SCCMに設定されています。
制御基板には信頼性の高いアナログ方式を採用し、再現性±0.2% F.S.、精度±1.0% F.S.という極めて安定した制御性能を発揮します。応答速度は2秒以下と高速であり、プロセス中の急激な圧力・流量変動に対しても迅速に追従し、安定したプロセス環境を維持します。
【AIによる参考仕様】
・対象ガス：SiH4（モノシラン）
・フルスケール流量：200 SCCM
・シール仕様：メタルシール
・バルブ形式：ノーマリークローズ（N.C.）
・流量制御範囲：2% 〜 100% F.S.
・流量測定精度：±1.0% F.S.
・再現性：±0.2% F.S.
・応答速度：2秒以下（0% → 100% F.S.）
・動作差圧範囲：50 kPa 〜 300 kPa
・耐圧：1.0 MPa (G)
・外部リークレート：1.0 × 10⁻¹¹ Pa・m³/s (He) 以下
・動作温度範囲：5℃ 〜 45℃
・接ガス部主要材質：SUS316L、Ni-W-Mo合金、PTFE等
・制御信号：アナログ（0 〜 5 VDC）
・電気接続：D-sub 9pinコネクタ
・駆動電源：±15 VDC (±5%)
本装置は、半導体製造プロセスや各種精密工業において、気体の質量流量を高精度に測定・制御するメタルシール仕様のアナログマスフローコントローラーです。
気密性と耐食性に極めて優れたメタルガスケットシール構造を採用しているため、ガス放出や外部リークが最小限に抑えられており、高純度ガスや腐食性ガスの制御に適しています。本個体は、半導体分野で汎用される特殊材料ガスであるモノシラン（SiH4）向けに調整されており、フルスケール流量は200SCCMに設定されています。
制御基板には信頼性の高いアナログ方式を採用し、再現性±0.2% F.S.、精度±1.0% F.S.という極めて安定した制御性能を発揮します。応答速度は2秒以下と高速であり、プロセス中の急激な圧力・流量変動に対しても迅速に追従し、安定したプロセス環境を維持します。
【AIによる参考仕様】
・対象ガス：SiH4（モノシラン）
・フルスケール流量：200 SCCM
・シール仕様：メタルシール
・バルブ形式：ノーマリークローズ（N.C.）
・流量制御範囲：2% 〜 100% F.S.
・流量測定精度：±1.0% F.S.
・再現性：±0.2% F.S.
・応答速度：2秒以下（0% → 100% F.S.）
・動作差圧範囲：50 kPa 〜 300 kPa
・耐圧：1.0 MPa (G)
・外部リークレート：1.0 × 10⁻¹¹ Pa・m³/s (He) 以下
・動作温度範囲：5℃ 〜 45℃
・接ガス部主要材質：SUS316L、Ni-W-Mo合金、PTFE等
・制御信号：アナログ（0 〜 5 VDC）
・電気接続：D-sub 9pinコネクタ
・駆動電源：±15 VDC (±5%)