中古機 マスフローコントローラー（MFC） Aera製、型式FC-770ACのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種研究開発において、ガスの質量流量を高精度に測定・制御するアナログ式のマスフローコントローラーです。シール部には実績のあるエラストマー（ゴム）素材を採用しており、優れた気密性と実用性を兼ね備えています。

本個体は、制御対象ガスとしてヘリウム（He）、最大制御流量（フルスケール）が10 SCCMに設定された微小流量対応モデルです。応答速度は2秒以下と、プロセス変化に対しても迅速かつ安定した追従性を示します。制御バルブには常時閉（Normally Closed）仕様が採用されており、非通電時や緊急停止時には自動的に流路を遮断する安全設計となっています。

外部インターフェースには、汎用性の高い0〜5 VDCのアナログ入出力信号を採用。±15 VDCの電源駆動に対応し、既存のアナログ制御システムや計測機器への組み込みが容易です。ヘリウムを用いた精密なパージ、キャリアガス供給、あるいは気密性検査（リークテスト）などの用途に適しています。

【AIによる参考仕様】
・制御対象ガス：ヘリウム（He）
・最大流量：10 SCCM
・流量精度：±1.0% F.S.（フルスケール）
・再現性：±0.2% F.S.
・応答速度：2秒以下
・バルブ動作形式：常時閉（Normally Closed / N.C.）
・シール材質：エラストマー（フッ素ゴム等）
・動作差圧範囲：49 〜 294 kPa
・耐圧：980 kPa
・外部リークレート：1×10⁻⁶ atm・cc/sec He 以下
・アナログ制御信号（入力／出力）：0 〜 5 VDC
・駆動電源：±15 VDC ±5%
・継手サイズ/形状：1/4インチ（※VCRやSwagelok等の詳細形状は現物をご確認ください）