中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
堀場エステック Stec
型式SEC-400MK3-K
年式表記：
仕様:ガス:N2O 流量:2LM
仕様:ガス:N2O 流量:2LM
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
対象のマスフローコントローラーは、半導体製造プロセスや理化学実験、各種産業ガスラインにおいて、気体の質量流量を高精度に測定・制御するデジタル熱式質量流量コントローラーです。駆動源には応答性に優れたピエゾアクチュエータを採用しており、設定値への迅速な追従性と安定した制御動作を実現します。本個体は、プロセスガスとして「N2O（亜酸化窒素）」、最大流量「2 LM（2 SLM）」に対応した仕様となっています。内部シールにエラストマーを採用した汎用性の高いモデルであり、配管への脱着やメンテナンス性に優れています。アナログおよびデジタル通信に対応し、各種制御システムへの統合が容易です。
【AIによる参考仕様】
※本仕様は同シリーズの標準仕様に基づく参考値です。中古品のため、実際の調整状態や校正状況により異なる場合があります。
* **制御対象ガス**：N2O（亜酸化窒素）
* **フルスケール流量**：2 LM (2 SLM)
* **バルブ動作形式**：ピエゾ駆動 / 常閉（Normally Closed）
* **シール材質**：エラストマー（フッ素ゴム等）
* **流量制御範囲**：2% ～ 100% F.S.（フルスケール）
* **流量制御精度**：±1.0% F.S.
* **再現性**：±0.2% F.S.
* **応答時間**：1.0秒以下（全領域）
* **動作差圧範囲**：100 ～ 300 kPa（推奨差圧）
* **耐圧力**：1.0 MPa (G)
* **外部リーク量**：1 × 10⁻¹¹ Pa・m³/sec (He) 以下
* **動作周囲温度**：5 ～ 50℃
* **接ガス部材質**：SUS316L、フッ素ゴム
* **電気接続コネクタ**：D-sub 9ピン
対象のマスフローコントローラーは、半導体製造プロセスや理化学実験、各種産業ガスラインにおいて、気体の質量流量を高精度に測定・制御するデジタル熱式質量流量コントローラーです。駆動源には応答性に優れたピエゾアクチュエータを採用しており、設定値への迅速な追従性と安定した制御動作を実現します。本個体は、プロセスガスとして「N2O（亜酸化窒素）」、最大流量「2 LM（2 SLM）」に対応した仕様となっています。内部シールにエラストマーを採用した汎用性の高いモデルであり、配管への脱着やメンテナンス性に優れています。アナログおよびデジタル通信に対応し、各種制御システムへの統合が容易です。
【AIによる参考仕様】
※本仕様は同シリーズの標準仕様に基づく参考値です。中古品のため、実際の調整状態や校正状況により異なる場合があります。
* **制御対象ガス**：N2O（亜酸化窒素）
* **フルスケール流量**：2 LM (2 SLM)
* **バルブ動作形式**：ピエゾ駆動 / 常閉（Normally Closed）
* **シール材質**：エラストマー（フッ素ゴム等）
* **流量制御範囲**：2% ～ 100% F.S.（フルスケール）
* **流量制御精度**：±1.0% F.S.
* **再現性**：±0.2% F.S.
* **応答時間**：1.0秒以下（全領域）
* **動作差圧範囲**：100 ～ 300 kPa（推奨差圧）
* **耐圧力**：1.0 MPa (G)
* **外部リーク量**：1 × 10⁻¹¹ Pa・m³/sec (He) 以下
* **動作周囲温度**：5 ～ 50℃
* **接ガス部材質**：SUS316L、フッ素ゴム
* **電気接続コネクタ**：D-sub 9ピン