中古機 マスフローコントローラー（MFC） 堀場エステック　Stec製、型式SEC-410NCのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、気体の質量流量を熱式センサーで高精度に測定し、内蔵された比例制御バルブによって目標流量へ自動的に調整を行うマスフローコントローラーです。
対象ガスはNH3（アンモニア）に設定されており、フルスケール流量は50 SCCM（標準状態における立方センチメートル/分）の微小流量仕様となっています。熱容量の差を利用して質量を直接計測する仕組みのため、使用環境の温度や圧力の変動に影響されにくい安定した流量制御を実現します。
制御範囲はフルスケールの2%〜100%（1.0〜50 SCCM）であり、流量精度はフルスケールに対して±1.0%以内の誤差に収まるよう設計されています。また、型式末尾の「NC」は非通電時に内部バルブが完全に閉じるノーマルクローズ（Normal Close）仕様であることを示しており、装置の電源喪失時やシステム異常時にガスの流出を防ぐフェイルセーフ構造です。
入出力インターフェースは業界標準のアナログ0～5VDC信号を採用しており、各種PLCや専用コントローラーと容易に接続が可能です。主に半導体製造プロセスや化学反応プロセスなど、腐食性ガスの精密な流量管理が要求される環境で運用される機器です。

【AIによる参考仕様】
対象ガス：NH3（アンモニア）
フルスケール流量：50 SCCM
流量制御範囲：2～100% F.S.
流量精度：±1.0% F.S.
応答速度：1.0秒以内
バルブ動作形式：ノーマルクローズ（非通電時閉）
流量設定入力信号：0～5V DC
流量出力信号：0～5V DC
駆動電源：±15V DC
動作温度範囲：5～45℃
許容周囲湿度：10～90%（結露なきこと）
耐圧：1.0 MPa(G)
制御方式：アナログ制御