中古機 マスフローコントローラー（MFC） MKS製、型式M100B00752CS1BVのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、高信頼性のアナログ制御方式を採用したメタルシール構造のマスフローコントローラー（MFC）です。特に高い気密性とクリーンネスが要求されるプロセス向けに設計されており、外部シールにメタルガスケットを採用することで、ガスの外部漏洩や大気混入を極限まで抑制します。

掲載機は、可燃性ガスである水素（H2）専用として、最大流量500 sccmの仕様に調整・校正されています。バルブ形式は、一次側の圧力変動時や停電時などの安全性を考慮した常時閉（Normally Closed）タイプです。信号インターフェースには15ピンD-subコネクタを装備し、標準的な0-5 VDCのアナログ信号によって動作します。

プロセス配管への接続には、半導体や真空プロセスで標準的に使用される1/4インチVCRオス継手が採用されており、高真空環境や各種プロセスガスラインへの確実な接続が可能です。熱式センサーによる優れた応答性と高い再現性を備え、安定した微小流量制御を実現します。

【AIによる参考仕様】
* **対応ガス種**: 水素（H2）
* **制御流量レンジ**: 0 〜 500 sccm
* **シール構造**: メタルシール（高気密・高クリーン仕様）
* **バルブ動作**: 常時閉（Normally Closed / N.C.）
* **配管継手サイズ**: 1/4インチ VCR互換（オス）
* **制御信号（入出力）**: 0 〜 5 VDC（アナログ）
* **電気接続コネクタ**: 15ピン D-sub（Type D）
* **測定精度**: ±1.0% F.S.（フルスケール）
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **応答時間**: 2.0秒以下（定常流量の98%に達する時間）
* **動作差圧範囲**: 約 70 〜 275 kPa（10 〜 40 psid）
* **耐圧性**: 最大 1.03 MPa（150 psig）
* **接ガス部主要材質**: ステンレス鋼（SUS316L等）、ニッケル、各種金属材料