中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Aera
型式FC-771AC
年式表記：
仕様:ガスH2 流量20SLM W130 D30 H127
仕様:ガスH2 流量20SLM W130 D30 H127
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや一般産業分野におけるガス流量制御で幅広く使用されている、アナログインターフェース対応の熱式マスフローコントローラーです。気密性とコストパフォーマンスに優れたエラストマー（フッ素ゴム等）シールを採用したシリーズに属しており、安定した制御性能を提供します。
本個体は水素（H2）ガス専用に調整されており、最大20 SLM（標準リッター/分）までの大流量制御に対応します。流量制御の精度は±1.0% F.S.、再現性は±0.2% F.S.を誇り、設定値への応答時間は2.0秒以下と極めて迅速です。本体サイズは幅130mm、奥行30mm、高さ127mmとコンパクトな設計になっており、既存設備へのリプレイスや限られたスペースへの設置が容易です。0〜5 VDCのアナログ信号によって動作し、信頼性の高いガス供給ラインの構築に貢献します。
【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス：** H2（水素）
* **フルスケール流量：** 20 SLM
* **シール材質：** エラストマー（フッ素ゴム等）
* **流量精度：** ±1.0% F.S.
* **再現性：** ±0.2% F.S.
* **応答時間：** 2.0秒以下
* **動作差圧範囲：** 98 kPa 〜 294 kPa
* **耐圧：** 980 kPa
* **外部リーク量：** 1.3 × 10^-7 Pa・m3/s (He) 以下
* **動作温度範囲：** 5℃ 〜 50℃
* **制御信号：** アナログ 0 〜 5 VDC
* **駆動電源：** ±15 VDC (±10%)
* **バルブ動作：** 常時閉（Normally Closed）
* **外形寸法：** W130 mm × D30 mm × H127 mm (面間130 mm)
本装置は、半導体製造プロセスや一般産業分野におけるガス流量制御で幅広く使用されている、アナログインターフェース対応の熱式マスフローコントローラーです。気密性とコストパフォーマンスに優れたエラストマー（フッ素ゴム等）シールを採用したシリーズに属しており、安定した制御性能を提供します。
本個体は水素（H2）ガス専用に調整されており、最大20 SLM（標準リッター/分）までの大流量制御に対応します。流量制御の精度は±1.0% F.S.、再現性は±0.2% F.S.を誇り、設定値への応答時間は2.0秒以下と極めて迅速です。本体サイズは幅130mm、奥行30mm、高さ127mmとコンパクトな設計になっており、既存設備へのリプレイスや限られたスペースへの設置が容易です。0〜5 VDCのアナログ信号によって動作し、信頼性の高いガス供給ラインの構築に貢献します。
【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス：** H2（水素）
* **フルスケール流量：** 20 SLM
* **シール材質：** エラストマー（フッ素ゴム等）
* **流量精度：** ±1.0% F.S.
* **再現性：** ±0.2% F.S.
* **応答時間：** 2.0秒以下
* **動作差圧範囲：** 98 kPa 〜 294 kPa
* **耐圧：** 980 kPa
* **外部リーク量：** 1.3 × 10^-7 Pa・m3/s (He) 以下
* **動作温度範囲：** 5℃ 〜 50℃
* **制御信号：** アナログ 0 〜 5 VDC
* **駆動電源：** ±15 VDC (±10%)
* **バルブ動作：** 常時閉（Normally Closed）
* **外形寸法：** W130 mm × D30 mm × H127 mm (面間130 mm)