中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Tylan
型式FC-770AC
年式表記：
仕様:ガスO2 流量150SCCM W130 D32 H127
仕様:ガスO2 流量150SCCM W130 D32 H127
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、各種プロセスや研究開発において、気体の質量流量を精密に測定・制御するアナログ方式のマスフローコントローラ（MFC）です。熱式流量センサと電磁式比例制御バルブを内蔵し、一次側の供給圧力や温度の変動に左右されない、安定したガス供給を実現します。本個体は酸素（O2）用として調整されており、最大制御流量（フルスケール）は150 SCCMに設定されています。実績のあるアナログ回路設計により、応答性が良く、長期間にわたり安定した動作を維持します。外形寸法は幅130mm、奥行32mm、高さ127mmとコンパクトで、既存システムへの組み込みや省スペースでの配置に適しています。
【AIによる参考仕様】
* 制御対象ガス：O2（酸素）
* 最大流量（フルスケール）：150 SCCM
* 流量制御範囲：2% 〜 100% F.S.
* 精度：±1.0% F.S.
* 直線性：±0.5% F.S.
* 繰り返し性：±0.2% F.S.
* 応答時間：2.0秒以下
* 動作差圧範囲：50 kPa 〜 300 kPa
* 耐圧力：1.0 MPa
* 外部リーク量：1.0 × 10⁻⁹ atm·cc/sec He 以下
* 動作温度範囲：5℃ 〜 45℃
* 制御信号：入力 0 〜 5 VDC / 出力 0 〜 5 VDC
* 駆動電源：+15 VDC（±5%）、-15 VDC（±5%）
* バルブ動作：常時閉（Normally Closed）
* 外形寸法：W130 mm × D32 mm × H127 mm
※上記の仕様値は同シリーズの標準的なメーカー仕様に基づく参考値です。経年変化や個別の調整状況により異なる場合があります。
本装置は、各種プロセスや研究開発において、気体の質量流量を精密に測定・制御するアナログ方式のマスフローコントローラ（MFC）です。熱式流量センサと電磁式比例制御バルブを内蔵し、一次側の供給圧力や温度の変動に左右されない、安定したガス供給を実現します。本個体は酸素（O2）用として調整されており、最大制御流量（フルスケール）は150 SCCMに設定されています。実績のあるアナログ回路設計により、応答性が良く、長期間にわたり安定した動作を維持します。外形寸法は幅130mm、奥行32mm、高さ127mmとコンパクトで、既存システムへの組み込みや省スペースでの配置に適しています。
【AIによる参考仕様】
* 制御対象ガス：O2（酸素）
* 最大流量（フルスケール）：150 SCCM
* 流量制御範囲：2% 〜 100% F.S.
* 精度：±1.0% F.S.
* 直線性：±0.5% F.S.
* 繰り返し性：±0.2% F.S.
* 応答時間：2.0秒以下
* 動作差圧範囲：50 kPa 〜 300 kPa
* 耐圧力：1.0 MPa
* 外部リーク量：1.0 × 10⁻⁹ atm·cc/sec He 以下
* 動作温度範囲：5℃ 〜 45℃
* 制御信号：入力 0 〜 5 VDC / 出力 0 〜 5 VDC
* 駆動電源：+15 VDC（±5%）、-15 VDC（±5%）
* バルブ動作：常時閉（Normally Closed）
* 外形寸法：W130 mm × D32 mm × H127 mm
※上記の仕様値は同シリーズの標準的なメーカー仕様に基づく参考値です。経年変化や個別の調整状況により異なる場合があります。