中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
堀場エステック Stec
型式SEC-410
年式表記：
仕様:ガス:N2 流量:1LM
仕様:ガス:N2 流量:1LM
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、気体の質量流量を高い精度で測定・制御する、熱式センサーを搭載したアナログ仕様のマスフローコントローラーです。内部のシール材にエラストマー（フッ素ゴム）を採用した構造により、優れた気密性と確かな耐久性を両立しています。今回の掲載個体は、窒素ガス（N2）専用として校正されており、制御可能な最大流量（フルスケール）は1 L/min（1 LM）です。アナログの外部制御信号（0〜5 VDC）によって流量設定および測定値の出力を行い、±15 VDCの外部電源で動作します。半導体製造プロセス、研究開発用の実験装置、各種ガス混合システムなど、安定したガス流量制御が求められる多様なガス供給ラインに適した制御機器です。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス**: 窒素（N2）
* **フルスケール流量**: 1 L/min（1 LM / 1 SLM）
* **流量制御範囲**: 2 〜 100% F.S.（フルスケール）
* **精度**: ±1.0% F.S.以内
* **再現性**: ±0.2% F.S.以内
* **応答速度**: 5秒以下（F.S. ±2%以内、代表値：2〜3秒）
* **バルブ形式**: ノーマリークローズ（N.C. / 無通電時閉）
* **動作差圧範囲**: 49 kPa 〜 294 kPa
* **耐圧**: 980 kPa
* **外部リーク量**: 1 × 10⁻⁸ Pa・m³/sec He以下
* **使用周囲温度**: 5 〜 45 ℃
* **接ガス部材質**: SUS316、SUS316L、フッ素ゴム（エラストマーシール）
* **入出力信号**: 0 〜 5 VDC（流量設定信号・流量出力信号ともに）
* **駆動電源**: ±15 VDC ±5%（+15V：約100mA、-15V：約100mA）
* **電気接続コネクタ**: D-sub 9ピン（オス）
* **推奨継手**: 1/4インチ（※実物の仕様をご確認ください）
本装置は、気体の質量流量を高い精度で測定・制御する、熱式センサーを搭載したアナログ仕様のマスフローコントローラーです。内部のシール材にエラストマー（フッ素ゴム）を採用した構造により、優れた気密性と確かな耐久性を両立しています。今回の掲載個体は、窒素ガス（N2）専用として校正されており、制御可能な最大流量（フルスケール）は1 L/min（1 LM）です。アナログの外部制御信号（0〜5 VDC）によって流量設定および測定値の出力を行い、±15 VDCの外部電源で動作します。半導体製造プロセス、研究開発用の実験装置、各種ガス混合システムなど、安定したガス流量制御が求められる多様なガス供給ラインに適した制御機器です。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス**: 窒素（N2）
* **フルスケール流量**: 1 L/min（1 LM / 1 SLM）
* **流量制御範囲**: 2 〜 100% F.S.（フルスケール）
* **精度**: ±1.0% F.S.以内
* **再現性**: ±0.2% F.S.以内
* **応答速度**: 5秒以下（F.S. ±2%以内、代表値：2〜3秒）
* **バルブ形式**: ノーマリークローズ（N.C. / 無通電時閉）
* **動作差圧範囲**: 49 kPa 〜 294 kPa
* **耐圧**: 980 kPa
* **外部リーク量**: 1 × 10⁻⁸ Pa・m³/sec He以下
* **使用周囲温度**: 5 〜 45 ℃
* **接ガス部材質**: SUS316、SUS316L、フッ素ゴム（エラストマーシール）
* **入出力信号**: 0 〜 5 VDC（流量設定信号・流量出力信号ともに）
* **駆動電源**: ±15 VDC ±5%（+15V：約100mA、-15V：約100mA）
* **電気接続コネクタ**: D-sub 9ピン（オス）
* **推奨継手**: 1/4インチ（※実物の仕様をご確認ください）