中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
日立金属
型式SFC-480
年式表記：
仕様:ガスAr 流量1000SCCM W120 D32 H140
仕様:ガスAr 流量1000SCCM W120 D32 H140
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造や各種工業分野の気相プロセスにおいて、ガスの質量流量を高精度に測定・制御する熱式マスフローコントローラー（MFC）です。調整ガスはAr（アルゴン）仕様となっており、制御可能な最大流量（フルスケール流量）は1000 SCCMです。
デジタル技術を用いた高度なセンサーおよびバルブ制御アルゴリズムにより、高速な応答性と優れた制御安定性を実現しており、プロセスの再現性向上に貢献します。アナログ信号（0-5V等）およびRS-485によるデジタル通信に対応しており、既存の各種制御システムへの統合が容易です。外形寸法は幅120mm、奥行32mm、高さ140mmのコンパクトな設計となっており、限られたスペースへの設置に適しています。
【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス：** Ar（アルゴン）
* **最大流量（フルスケール）：** 1000 SCCM
* **流量制御範囲：** 2% 〜 100% F.S.
* **流量精度：** ±1.0% F.S.（設定精度）
* **繰り返し性：** ±0.2% F.S.
* **応答速度：** 1秒以下（代表値）
* **動作温度範囲：** 5℃ 〜 50℃
* **耐圧：** 1.0 MPa (G)
* **外部リーク量：** 1 × 10⁻¹¹ Pa・m³/sec (He) 以下
* **電気接続コネクタ：** D-sub 9ピン（アナログ / RS-485通信用）
* **駆動電源：** DC±15V (±5%)
* **外形寸法：** 幅 (W) 120 mm × 奥行 (D) 32 mm × 高さ (H) 140 mm
※上記仕様は同型式シリーズの標準的なカタログ値に基づく参考値です。実際の動作環境や仕様の詳細は個別の検査データをご確認ください。
本装置は、半導体製造や各種工業分野の気相プロセスにおいて、ガスの質量流量を高精度に測定・制御する熱式マスフローコントローラー（MFC）です。調整ガスはAr（アルゴン）仕様となっており、制御可能な最大流量（フルスケール流量）は1000 SCCMです。
デジタル技術を用いた高度なセンサーおよびバルブ制御アルゴリズムにより、高速な応答性と優れた制御安定性を実現しており、プロセスの再現性向上に貢献します。アナログ信号（0-5V等）およびRS-485によるデジタル通信に対応しており、既存の各種制御システムへの統合が容易です。外形寸法は幅120mm、奥行32mm、高さ140mmのコンパクトな設計となっており、限られたスペースへの設置に適しています。
【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス：** Ar（アルゴン）
* **最大流量（フルスケール）：** 1000 SCCM
* **流量制御範囲：** 2% 〜 100% F.S.
* **流量精度：** ±1.0% F.S.（設定精度）
* **繰り返し性：** ±0.2% F.S.
* **応答速度：** 1秒以下（代表値）
* **動作温度範囲：** 5℃ 〜 50℃
* **耐圧：** 1.0 MPa (G)
* **外部リーク量：** 1 × 10⁻¹¹ Pa・m³/sec (He) 以下
* **電気接続コネクタ：** D-sub 9ピン（アナログ / RS-485通信用）
* **駆動電源：** DC±15V (±5%)
* **外形寸法：** 幅 (W) 120 mm × 奥行 (D) 32 mm × 高さ (H) 140 mm
※上記仕様は同型式シリーズの標準的なカタログ値に基づく参考値です。実際の動作環境や仕様の詳細は個別の検査データをご確認ください。