中古 堀場エステック Stec マスフローコントローラー（MFC） SEC-4400-MO
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- メーカー
- 堀場エステック Stec
- 型式
- SEC-4400-MO
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス:CHF3 流量:100SCCM
- 管理番号
- Z230331041
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | CHF3 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 100 SCCM |
| 現品銘板の型式 | SEC-4400MO(STEC INC.) |
SEC-4400-MO の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 校正ガス | CF4(四フッ化炭素) |
|---|---|
| 窒素換算コンバージョンファクタ(C.F.) | 0.44(N2基準) |
| バルブ型式 | MO(ノーマリオープン、型番の MO) |
| 接ガス部材質 | SUS-316L(Mタイプ) |
| 流量制御範囲 | 2〜100%F.S. |
| 応答速度 | 1秒以内(T98) |
| 流量精度 | ±1%F.S. |
| 直線性 | ±0.5%F.S. |
| 繰返性 | ±0.2%F.S. |
| 外部リークレート | 1×10⁻¹¹Pa·m³/s(He)以下(Mタイプ) |
| 耐圧 | 1000 kPa |
| 使用可能周囲温度 | 5〜50℃(精度保証15〜35℃) |
| 流量設定信号 | 0.1〜5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上) |
※性能値は社内保管の「高品位マスフローコントローラ SEC-4000シリーズ(HORIBA)」の主な仕様から転記した型式一般の値。
※校正ガス以外で使うときは換算係数が必要。
※四フッ化炭素(CF4)はエッチングガス。腐食性は低いが、流した履歴の確認を勧める。
出典: 現品の銘板、メーカー資料
堀場エステック Stec SEC-4400-MO の装置概要 AIによる記述です
ガスの質量流量を熱式センサで検出し、内蔵の制御バルブで設定値どおりに流量を保つマスフローコントローラーです。半導体製造装置のエッチングや成膜のプロセスで、反応ガスを一定量ずつ供給する用途に使われます。型番末尾のMOはノーマリオープンのバルブを示します。接ガス部はSUS-316L(Mタイプ)で、外部リークレートは1×10⁻¹¹Pa·m³/s(He)以下とされています。
流量制御範囲は2〜100%F.S.、応答速度は1秒以内(T98)です。流量精度は±1%F.S.、直線性は±0.5%F.S.、繰返性は±0.2%F.S.です。流量設定信号は0.1〜5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)、耐圧は1000 kPaです。使用可能周囲温度は5〜50℃で、精度保証は15〜35℃の範囲です。
校正ガスとフルスケール流量は個体ごとに設定されています。銘板で確認した例ではCF4、300 SCCMで、窒素換算のコンバージョンファクタは0.44(N2基準)です。校正ガス以外のガスで使う場合は換算係数が必要です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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