中古機 マスフローコントローラー（MFC） Aera製、型式FC-D980のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや精密な研究開発分野で広く信頼されている高精度デジタルマスフローコントローラです。メタルシール構造を採用しているため、外部へのガス漏洩や水分・大気成分の混入（アウトガス）を極限まで低減し、超高真空や高純度が求められるプロセス環境に最適です。通信規格にはDeviceNetを採用しており、デジタル制御によるリアルタイムな流量測定と迅速なコマンド処理を可能にします。本個体はN2（窒素）ガス専用に調整されており、最大流量200SCCMに対応します。1.0秒以下という優れた高速応答性能を備えており、プロセスの立ち上がり時や流量変更時にもブレのない極めて安定したガス供給を実現します。

【AIによる参考仕様】
* **対応ガス**: N2 (窒素)
* **最大制御流量**: 200 SCCM (0.2 LM)
* **流量精度**: ±1.0% F.S. (フルスケール)
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **応答時間**: 1.0秒以下
* **シール材質**: メタルシール
* **通信仕様**: DeviceNet
* **電源仕様**: DC 11〜25 V (DeviceNetバスパワー駆動)
* **動作差圧範囲**: 50〜300 kPa
* **耐圧力**: 1.0 MPa
* **動作温度範囲**: 5〜50 ℃
* **配管接続継手**: 1/4インチ VCR 相当
* **外形寸法**: W125 mm × D37 mm × H180 mm (面間 125mm)