中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Tylan
型式FC-760
年式表記：
仕様:ガスN2 流量500SCCM W150 D40 H180
仕様:ガスN2 流量500SCCM W150 D40 H180
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本マスフローコントローラーは、半導体製造プロセスや各種工業用途、研究開発におけるガス供給ラインなどで広く使用されている熱式流量制御装置です。流体の温度や圧力変化に左右されない「質量流量」の精密測定・制御を行い、プロセスガスの安定供給を可能にします。
センサー部に流れるガスの熱量変化を検知して正確な流量を算出し、内蔵された電磁式コントロールバルブを連動させて、設定値に対して迅速かつ安定した制御を行います。アナログ制御方式を採用しており、0〜5 VDCの制御信号に対応します。長年にわたり業界のデファクトスタンダードとして使用されてきた信頼性の高い設計であり、既存システムへのリプレイスや、再現性が求められる各種実験系におけるN2ガスの流量制御に適しています。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス**: N2（窒素）
* **最大流量（フルスケール）**: 500 SCCM
* **制御範囲**: 2% ～ 100% F.S.
* **流量精度**: ±1.0% F.S.
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **直線性**: ±0.5% F.S.
* **応答時間**: 2秒以下
* **動作差圧範囲**: 50 kPa ～ 300 kPa
* **耐圧**: 1.0 MPa
* **入出力信号**: 0 ～ 5 VDC
* **駆動電源**: ±15 VDC
* **外形寸法**: W150 × D40 × H180 mm
本マスフローコントローラーは、半導体製造プロセスや各種工業用途、研究開発におけるガス供給ラインなどで広く使用されている熱式流量制御装置です。流体の温度や圧力変化に左右されない「質量流量」の精密測定・制御を行い、プロセスガスの安定供給を可能にします。
センサー部に流れるガスの熱量変化を検知して正確な流量を算出し、内蔵された電磁式コントロールバルブを連動させて、設定値に対して迅速かつ安定した制御を行います。アナログ制御方式を採用しており、0〜5 VDCの制御信号に対応します。長年にわたり業界のデファクトスタンダードとして使用されてきた信頼性の高い設計であり、既存システムへのリプレイスや、再現性が求められる各種実験系におけるN2ガスの流量制御に適しています。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス**: N2（窒素）
* **最大流量（フルスケール）**: 500 SCCM
* **制御範囲**: 2% ～ 100% F.S.
* **流量精度**: ±1.0% F.S.
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **直線性**: ±0.5% F.S.
* **応答時間**: 2秒以下
* **動作差圧範囲**: 50 kPa ～ 300 kPa
* **耐圧**: 1.0 MPa
* **入出力信号**: 0 ～ 5 VDC
* **駆動電源**: ±15 VDC
* **外形寸法**: W150 × D40 × H180 mm