中古機 マスフローコントローラー（MFC） Tylan製、型式FC-260のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造や各種薄膜堆積プロセスにおいて、長年にわたり高い信頼性と実績を誇る熱式マスフローコントローラです。反応性に富み、CVD（化学気相成長）プロセスなどで広く用いられるジクロロシラン（SiH2Cl2）ガス専用にキャリブレーション（調整）が施されており、最大流量100 SCCMまでの微少流量を極めて精密かつ安定的に制御します。

内部に搭載された熱センサとソレノイド制御バルブの組み合わせにより、優れた応答性と高い再現性を実現しています。アナログ制御方式（0〜5 VDCの入出力信号）を採用しており、既存のシステムや研究開発用装置への組み込み、または同系統システムのリプレイス（交換）用パーツとして最適です。接ガス部には耐食性に配慮した材質が選定されており、腐食性のある特殊ガスに対しても安定したパフォーマンスを持続します。

【AIによる参考仕様】
* **対応ガス種：** ジクロロシラン（SiH2Cl2）
* **フルスケール流量：** 100 SCCM
* **制御方式：** アナログ熱式質量流量制御
* **流量精度：** ±1.0% F.S.（フルスケール）
* **直線性：** ±0.5% F.S.
* **再現性：** ±0.2% F.S.
* **応答速度：** 2秒以下（セットポイントの±2%以内）
* **動作電源：** DC ±15V
* **入出力制御信号：** 0 ～ 5 VDC
* **電気コネクタ：** D-sub 15ピン
* **継手サイズ：** 1/4インチ
* **最大動作圧力：** 150 psig（約1.03 MPa）
* **動作差圧範囲：** 0.05 MPa ～ 0.3 MPa

※上記仕様はメーカーの標準的なカタログ値に基づく代表参考値です。中古機器の特性上、現物の校正状態や継手形状、コネクタ仕様が異なる場合があります。