中古機 マスフローコントローラー（MFC） Tylan製、型式FC-780Cのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造や各種真空成膜プロセスにおいて高い実績を持つ、アナログ制御方式の熱式マスフローコントローラーです。内部に組み込まれた熱式質量流量センサーと電磁式コントロールバルブにより、導入ガスの温度や一次側圧力の変動に左右されることなく、常に安定した質量流量の測定および制御を行います。

本個体は、対象ガスとして半導体エッチング等で多用されるSF6（六フッ化硫黄）にキャリブレーションされており、最大流量は50 SCCMに調整されています。外部からの0〜5 VDCの流量設定信号（入力）に応じてバルブを高速に駆動し、同等レンジの流量出力信号（出力）によりリアルタイムな流量確認が可能です。プロセスの安定性と再現性を重視した設計が特徴です。

【AIによる参考仕様】
- **対応ガス**：SF6（六フッ化硫黄）
- **最大流量（フルスケール）**：50 SCCM
- **制御方式**：熱式質量流量制御方式（ノーマリークローズバルブ）
- **流量制御精度**：±1.0% F.S.（フルスケール）
- **直線性**：±0.5% F.S.
- **再現性**：±0.2% F.S.
- **応答時間**：約2〜7秒以内
- **入出力信号**：0〜5 VDC
- **駆動電源**：±15 VDC
- **動作差圧範囲**：約0.07〜0.28 MPa (10〜40 psid)
- **耐圧（最大動作圧力）**：1.03 MPa (150 psig)
- **外形寸法**：W135 × D32 × H123 mm（突起部、継手含む）
※上記の精度や応答時間などの仕様値は、メーカー公表のシリーズ標準スペックに基づく参考値となります。実機機嫌や接続環境により異なる場合があります。