中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Aera
型式FC-770AC
年式表記：
仕様:流量：200SCCM ガス：N2
仕様:流量：200SCCM ガス：N2
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本機は、半導体製造プロセスや各種ガス制御システムにおいて高精度な流量制御を行うためのサーマル（熱式）マスフローコントローラーです。制御対象ガスは窒素（N2）に設定されており、フルスケール流量は200SCCMです。内部の熱式流量センサーと精密なコントロールバルブを組み合わせることで、微小なガス流量の変動に対しても迅速かつ安定した制御を実現します。
流量の制御範囲はフルスケールの2%から100%（4〜200SCCM）と広く設定されており、多様なプロセス要件に対応します。応答速度は1.0秒以内と高速で、設定値に対する高い追従性を備えています。入出力の通信インターフェースには0〜5VDCのアナログ電圧信号を使用するため、既存のアナログ制御システムや各種PLC機器との統合が容易です。
駆動用電源には±15VDCを必要とし、周囲環境温度5℃から45℃の範囲内での動作が推奨されています。また、同シリーズのなかでも本機はメタルシール構造を採用しているモデルに該当し、接ガス部には耐腐食性に優れたSUS316L等のステンレス素材が使用されています。これにより、外部へのガス漏洩やプロセスへのコンタミネーションの発生を厳密に抑制する必要がある高純度ガスラインにも適した構造となっています。
【AIによる参考仕様】
対象ガス：N2（窒素）
フルスケール流量：200 SCCM
流量制御範囲：2% ～ 100% F.S. (4 ～ 200 SCCM)
流量精度：±1.0% S.P. (25% ～ 100% F.S.時) / ±0.25% F.S. (2% ～ 25% F.S.時)
再現性：±0.2% F.S.
応答速度：1.0秒以内（代表値）
入出力信号：アナログ 0 ～ 5 VDC
必要電源：±15 VDC (±5%)
動作温度範囲：5℃ ～ 45℃
耐圧限界：1.0 MPa (G)
バルブ動作：ノーマルクローズ（N.C. / 非通電時閉）
接ガス部材質：SUS316L等
シール構造：メタルシール
本機は、半導体製造プロセスや各種ガス制御システムにおいて高精度な流量制御を行うためのサーマル（熱式）マスフローコントローラーです。制御対象ガスは窒素（N2）に設定されており、フルスケール流量は200SCCMです。内部の熱式流量センサーと精密なコントロールバルブを組み合わせることで、微小なガス流量の変動に対しても迅速かつ安定した制御を実現します。
流量の制御範囲はフルスケールの2%から100%（4〜200SCCM）と広く設定されており、多様なプロセス要件に対応します。応答速度は1.0秒以内と高速で、設定値に対する高い追従性を備えています。入出力の通信インターフェースには0〜5VDCのアナログ電圧信号を使用するため、既存のアナログ制御システムや各種PLC機器との統合が容易です。
駆動用電源には±15VDCを必要とし、周囲環境温度5℃から45℃の範囲内での動作が推奨されています。また、同シリーズのなかでも本機はメタルシール構造を採用しているモデルに該当し、接ガス部には耐腐食性に優れたSUS316L等のステンレス素材が使用されています。これにより、外部へのガス漏洩やプロセスへのコンタミネーションの発生を厳密に抑制する必要がある高純度ガスラインにも適した構造となっています。
【AIによる参考仕様】
対象ガス：N2（窒素）
フルスケール流量：200 SCCM
流量制御範囲：2% ～ 100% F.S. (4 ～ 200 SCCM)
流量精度：±1.0% S.P. (25% ～ 100% F.S.時) / ±0.25% F.S. (2% ～ 25% F.S.時)
再現性：±0.2% F.S.
応答速度：1.0秒以内（代表値）
入出力信号：アナログ 0 ～ 5 VDC
必要電源：±15 VDC (±5%)
動作温度範囲：5℃ ～ 45℃
耐圧限界：1.0 MPa (G)
バルブ動作：ノーマルクローズ（N.C. / 非通電時閉）
接ガス部材質：SUS316L等
シール構造：メタルシール