中古機 マスフローコントローラー（MFC） Aera製、型式FC-780Cのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、優れた応答性と高い信頼性を備えたアナログ式のマスフローコントローラー（MFC）です。エラストマーシールを採用しており、半導体製造プロセス、各種真空装置、研究開発分野における精密な気体流量制御に広く採用されています。
本個体は、ヘリウム（He）ガス用に調整されており、最大制御流量（フルスケール）は100 SCCMに設定されています。±1.0% F.S.の測定精度と、2秒以下という迅速な応答性により、安定した微小流量制御を実現します。インターフェースにはアナログ制御（0〜5 VDC）を採用しているため、既存のシステムへのリプレイスや簡易的な流量制御系への組み込みに最適です。

【AIによる参考仕様】
* **対応ガス**: ヘリウム (He)
* **流量レンジ**: 100 SCCM
* **シール構造**: エラストマーシール
* **測定精度**: ±1.0% F.S.
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **応答速度**: 2.0秒以下
* **制御信号**: 0〜5 VDC
* **駆動電源**: ±15 VDC
* **バルブ動作**: 常時閉 (Normally Closed)
* **動作温度範囲**: 5〜50℃
* **外部リークレート**: 1.0 × 10^-6 atm・cc/sec (He) 以下