中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
堀場エステック Stec
型式SEC-4400MO
年式表記：
仕様:ガス:CF4 流量:300SCCM
仕様:ガス:CF4 流量:300SCCM
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスなどの精密なガス流量制御において高い実績を持つ、DeviceNet通信対応のデジタルマスフローコントローラーです。内部に熱線型流速センサーとソレノイドバルブを搭載しており、設定値に対して迅速かつ正確に流量を制御します。バルブ動作形式には、非通電時にバルブが開状態となる「常時開（Normally Open）」タイプが採用されています。
本個体は、対象ガス「CF4（四フッ化炭素）」、最大流量「300 SCCM」の仕様で調整されています。フルスケールの2%から100%の広い範囲で安定した制御が可能であり、応答速度は1.0秒以下と極めて迅速です。ネットワーク経由でのデジタル制御に対応しているため、配線の省力化とリアルタイムな動作監視を両立し、高度に自動化されたガス供給システムへの統合に適しています。
【AIによる参考仕様】
・制御対象ガス：CF4（四フッ化炭素）
・最大流量（F.S.）：300 SCCM
・バルブ動作形式：常時開（Normally Open）
・流量精度：±1.0% F.S.
・応答時間：1.0秒以下
・制御可能範囲：2% 〜 100% F.S.
・再現性：±0.2% F.S.
・動作差圧範囲：98 kPa 〜 294 kPa
・耐圧：1.0 MPa（ゲージ圧）
・外部リークレート：1.0 × 10⁻¹¹ Pa・m³/s (He) 以下
・動作周囲温度：5℃ 〜 50℃
・通信プロトコル：DeviceNet
・電源電圧：DC 11 V 〜 25 V（バスパワー駆動）
・消費電力：最大 5.5 W
・継手サイズ：1/4インチ VCR相当
本装置は、半導体製造プロセスなどの精密なガス流量制御において高い実績を持つ、DeviceNet通信対応のデジタルマスフローコントローラーです。内部に熱線型流速センサーとソレノイドバルブを搭載しており、設定値に対して迅速かつ正確に流量を制御します。バルブ動作形式には、非通電時にバルブが開状態となる「常時開（Normally Open）」タイプが採用されています。
本個体は、対象ガス「CF4（四フッ化炭素）」、最大流量「300 SCCM」の仕様で調整されています。フルスケールの2%から100%の広い範囲で安定した制御が可能であり、応答速度は1.0秒以下と極めて迅速です。ネットワーク経由でのデジタル制御に対応しているため、配線の省力化とリアルタイムな動作監視を両立し、高度に自動化されたガス供給システムへの統合に適しています。
【AIによる参考仕様】
・制御対象ガス：CF4（四フッ化炭素）
・最大流量（F.S.）：300 SCCM
・バルブ動作形式：常時開（Normally Open）
・流量精度：±1.0% F.S.
・応答時間：1.0秒以下
・制御可能範囲：2% 〜 100% F.S.
・再現性：±0.2% F.S.
・動作差圧範囲：98 kPa 〜 294 kPa
・耐圧：1.0 MPa（ゲージ圧）
・外部リークレート：1.0 × 10⁻¹¹ Pa・m³/s (He) 以下
・動作周囲温度：5℃ 〜 50℃
・通信プロトコル：DeviceNet
・電源電圧：DC 11 V 〜 25 V（バスパワー駆動）
・消費電力：最大 5.5 W
・継手サイズ：1/4インチ VCR相当