中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Tylan
型式FC-770AC
年式表記：
仕様:ガスAr 流量20SCCM W120 D32 H125
仕様:ガスAr 流量20SCCM W120 D32 H125
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本マスフローコントローラーは、半導体製造プロセスや各種理化学実験装置において、気体の質量流量を精密に測定・制御するための熱式質量流量制御装置です。対象ガスとしてアルゴン（Ar）に対応しており、最大20 SCCM（0℃、1気圧基準における標準ミリリットル/分）の微小流量域で、高い再現性と安定性を持った流量管理を実現します。
装置の内部構造は、熱式センサー、バイパス、および電磁式コントロールバルブ（常時閉型：Normally Closed）で構成されており、0〜5 VDCのアナログ入出力信号によって、外部からの目標値設定と実際の流量値のリアルタイムなモニタリングが可能です。駆動電源には標準的な±15 VDCを使用します。外形寸法は幅120mm、奥行32mm、高さ125mmとコンパクトに設計されており、限られた設置スペースやガスパネル内へのシステム統合に柔軟に対応します。
【AIによる参考仕様】
・対応ガス：アルゴン（Ar）
・最大制御流量：20 SCCM（0℃、1atm基準）
・制御範囲：フルスケールの2% 〜 100%（0.4 〜 20 SCCM）
・流量制御バルブ：常時閉型（Normally Closed）
・流量測定方式：熱式質量流量センサー
・入出力信号：0 〜 5 VDC
・駆動電源：±15 VDC
・制御精度：±1.0％ F.S.（フルスケール比）
・直線性：±0.5％ F.S.
・再現性：±0.2％ F.S.
・応答時間：約2秒以内（設定値の±2％以内に到達する時間）
・動作差圧範囲：約70 kPa 〜 275 kPa（10 psid 〜 40 psid）
・耐圧：約1.03 MPa（150 psig）
・使用周囲温度：5℃ 〜 45℃
・外形寸法：W120 mm × D32 mm × H125 mm
・配管接続口径：1/4インチ継手
本マスフローコントローラーは、半導体製造プロセスや各種理化学実験装置において、気体の質量流量を精密に測定・制御するための熱式質量流量制御装置です。対象ガスとしてアルゴン（Ar）に対応しており、最大20 SCCM（0℃、1気圧基準における標準ミリリットル/分）の微小流量域で、高い再現性と安定性を持った流量管理を実現します。
装置の内部構造は、熱式センサー、バイパス、および電磁式コントロールバルブ（常時閉型：Normally Closed）で構成されており、0〜5 VDCのアナログ入出力信号によって、外部からの目標値設定と実際の流量値のリアルタイムなモニタリングが可能です。駆動電源には標準的な±15 VDCを使用します。外形寸法は幅120mm、奥行32mm、高さ125mmとコンパクトに設計されており、限られた設置スペースやガスパネル内へのシステム統合に柔軟に対応します。
【AIによる参考仕様】
・対応ガス：アルゴン（Ar）
・最大制御流量：20 SCCM（0℃、1atm基準）
・制御範囲：フルスケールの2% 〜 100%（0.4 〜 20 SCCM）
・流量制御バルブ：常時閉型（Normally Closed）
・流量測定方式：熱式質量流量センサー
・入出力信号：0 〜 5 VDC
・駆動電源：±15 VDC
・制御精度：±1.0％ F.S.（フルスケール比）
・直線性：±0.5％ F.S.
・再現性：±0.2％ F.S.
・応答時間：約2秒以内（設定値の±2％以内に到達する時間）
・動作差圧範囲：約70 kPa 〜 275 kPa（10 psid 〜 40 psid）
・耐圧：約1.03 MPa（150 psig）
・使用周囲温度：5℃ 〜 45℃
・外形寸法：W120 mm × D32 mm × H125 mm
・配管接続口径：1/4インチ継手