中古機 マスフローコントローラー（MFC） Tylan製、型式FC-771Cのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種産業・研究開発用途において、気体の質量流量を精密に測定・制御するために設計された熱式マスフローコントローラー（MFC）です。測定および制御対象のガスとして窒素（N2）に対応しており、最大流量30 SLM（Standard Liters per Minute）の中・大流量域の精密制御に適しています。

動作電源はアナログ仕様の±15 VDC、流量設定（入力信号）および測定値（出力信号）は0〜5 VDCの電圧信号で稼働します。ガス流路のシールにはフッ素ゴム系（バイトン等）のエラストマーが採用されており、不活性ガスの安定した供給ラインを構築するのに適しています。長年にわたり業界で広く活用されてきた信頼性の高いアナログ制御方式のシリーズに属し、シンプルなシステム構成での運用や、既存設備の補修・リプレイス用途に適しています。

【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス**: 窒素（N2）
* **最大制御流量**: 30 SLM
* **電気的仕様**:
* **動作電源**: ±15 VDC (±5%)
* **入出力信号**: 0 〜 5 VDC
* **制御性能**:
* **精度**: ±1.0% F.S.（フルスケール）
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **応答時間**: 約2秒（セットポイントの±2%以内）
* **制御範囲**: 2% 〜 100% F.S.
* **物理的仕様**:
* **外形寸法**: 幅125 mm × 奥行35 mm × 高さ175 mm
* **シール材質**: エラストマー（バイトン等）
* **使用周囲温度**: 5 〜 50℃