中古機 マスフローコントローラー（MFC） Aera製、型式FC-770Aのご紹介

【AIによる装置概要】
半導体製造プロセスや各種産業用の真空装置において、ガス流量の精密な測定と制御を行うアナログ方式のマスフローコントローラーです。高精度な熱式質量流量センサーと、応答性に優れた電磁式コントロールバルブを搭載しており、安定したガス供給を実現します。本機は窒素（N2）ガス用に調整されており、最大1 SLMの流量制御に対応します。

接ガス部のシール構造には気密性の高いメタルシールを採用しており、外部への微小なリークや不純物の混入を極限まで抑える設計となっています。これにより、高純度が求められるプロセスにおいても安全かつ信頼性の高い運用が可能です。アナログインターフェース（0〜5 VDC）による入出力制御に対応しており、既存のアナログシステムへもスムーズに導入・統合することができます。

【AIによる参考仕様】
- **対応ガス**: 窒素（N2）
- **フルスケール流量**: 1 SLM
- **シール材質**: メタルシール
- **バルブ動作形式**: ノーマリークローズ（N.C. / 常時閉）
- **流量制御精度**: ±1.0% F.S.（フルスケール）
- **再現性**: ±0.2% F.S.
- **応答速度**: 2.0秒以内
- **動作差圧範囲**: 98 kPa ～ 294 kPa
- **耐圧**: 980 kPa
- **外部リークレート**: 1.0 × 10^-11 Pa・m³/sec He 以下
- **入出力信号**: 0 ～ 5 VDC
- **駆動電源**: DC ±15 V ±5%
- **外形寸法**: W125 mm × D34 mm × H170 mm
- **電気接続**: D-sub コネクタ