中古機 マスフローコントローラー（MFC） Unit製、型式UFC-1200のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種研究開発において長年にわたり信頼されているアナログ方式のマスフローコントローラーです。対応ガスとしてO2（酸素）、最大制御流量は20SCCMに調整・校正されており、微小流量における高精度な流量制御に適しています。

内部シールには気密性と信頼性の高いエラストマー（一般的にViton等）が採用されており、安定した流路制御を実現します。アナログ信号（0〜5 VDC）による動作に対応しているため、既存のアナログ制御システムや外部コントローラーへの組み込み、およびリプレイスが容易です。熱式センサーを用いた確実な流量測定技術により、周囲の温度変化や圧力変動の影響を最小限に抑え、再現性の高いプロセス制御を提供します。

【AIによる参考仕様】
・対応ガス：O2（酸素）
・最大制御流量：20 SCCM
・制御方式：アナログ
・入出力信号：0〜5 VDC
・精度：±1.0% F.S.（フルスケール）
・直線性：±0.5% F.S.
・再現性：±0.2% F.S.
・応答時間：2秒以内（ステップ変化10%〜100%において±2%以内）
・動作差圧範囲：0.05〜0.31 MPa（7〜45 psid）
・耐圧：3.4 MPa（500 psig）
・動作温度範囲：5〜50℃
・電源仕様：+15 VDC、-15 VDC