中古機 マスフローコントローラー（MFC） Tylan製、型式FC-780Cのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスをはじめとする高精度なガス流量制御が求められる産業分野で長年の実績を持つ、アナログ式の熱式マスフローコントローラーです。熱式流量測定技術を採用しており、温度や圧力の変動に影響されにくい、質量流量基準での安定したガス制御を実現します。内部の精密なセンサー、ソレノイドバルブ、および制御回路による高速なフィードバックループにより、設定信号に対して迅速かつ正確に追従します。

本個体は水素（H2）ガス専用としてキャリブレーションされており、最大制御流量は3SLM（標準状態において毎分3リットル）の仕様となっています。研究開発から各種産業プロセスにおけるガスの精密供給ラインまで、幅広い用途に対応可能な信頼性の高い設計です。

【AIによる参考仕様】
* **対応ガス：** H2（水素）
* **最大流量（フルスケール）：** 3 SLM（Standard Liters per Minute）
* **流量制御方式：** アナログ熱式質量流量制御
* **流量精度：** ±1.0% F.S.（フルスケール）
* **リニアリティ：** ±0.5% F.S.
* **再現性：** ±0.2% F.S.
* **応答時間：** 2秒以下（フルスケールの98%到達時間）
* **動作差圧範囲：** 約50 kPa ～ 310 kPa（7 ～ 45 psi）
* **耐圧：** 約1.0 MPa（150 psi）
* **外部リークレート：** 1 × 10⁻⁹ atm cc/sec（He）以下
* **制御信号（入力/出力）：** 0 ～ 5 VDC
* **駆動電源：** DC ±15 V
* **バルブ動作タイプ：** ノーマリークローズ（常時閉）
* **電気コネクタ：** D-sub 20ピン（※個別仕様により異なる場合があります）
* **配線・継手接続：** 各自現物合わせ（※中古品につき、実機の継手形状・サイズを優先してください）