中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Aera
型式FC-D980
年式表記：
仕様:ガスO2 流量50SCCM W125 D37 H180
仕様:ガスO2 流量50SCCM W125 D37 H180
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種精密熱処理プロセスなどの高度なガス流量制御が要求される環境において、確かな実績を持つデジタル式のマスフローコントローラです。気密性と高クリーン性を兼ね備えたメタルシール構造を採用しており、高純度ガスや各種反応性ガスの制御に極めて高い信頼性を発揮します。
デジタル信号処理（DSP）技術の搭載により、高精度かつ1.0秒以下という優れた高速応答特性を維持しながら、ガス供給ラインでの急激な一次圧変動に対しても安定した流量制御が可能です。本個体はO2（酸素）ガス専用として調整されており、フルスケール流量は50 SCCMです。バルブ機構には、非通電時に閉状態となる安全性の高い常閉（Normally Closed）タイプを採用しています。周囲温度の変化に対する優れた補償機能を有し、長期にわたり一貫した制御精度を提供します。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス:** O2（酸素）
* **最大制御流量（フルスケール）:** 50 SCCM
* **シール構造:** メタルシール
* **流量制御範囲:** 2% ～ 100% F.S.
* **制御精度:** ±1.0% F.S.
* **再現性:** ±0.2% F.S.
* **応答時間:** 1.0秒以下（設定値の±2%以内）
* **動作差圧:** 約 98 ～ 294 kPa
* **最大動作圧力（耐圧）:** 1.0 MPa
* **外部リークレート:** 1.0 × 10⁻¹¹ Pa・m³/sec（He）以下
* **制御バルブ動作:** 常閉（Normally Closed）
* **電気接続コネクタ:** D-sub 15ピン
* **駆動電源:** DC ±15V ±5%
* **配管接続継手:** 1/4インチ VCR相当
* **本体寸法:** W125 × D37 × H180 mm（継手・コネクタを含む外寸）
本装置は、半導体製造プロセスや各種精密熱処理プロセスなどの高度なガス流量制御が要求される環境において、確かな実績を持つデジタル式のマスフローコントローラです。気密性と高クリーン性を兼ね備えたメタルシール構造を採用しており、高純度ガスや各種反応性ガスの制御に極めて高い信頼性を発揮します。
デジタル信号処理（DSP）技術の搭載により、高精度かつ1.0秒以下という優れた高速応答特性を維持しながら、ガス供給ラインでの急激な一次圧変動に対しても安定した流量制御が可能です。本個体はO2（酸素）ガス専用として調整されており、フルスケール流量は50 SCCMです。バルブ機構には、非通電時に閉状態となる安全性の高い常閉（Normally Closed）タイプを採用しています。周囲温度の変化に対する優れた補償機能を有し、長期にわたり一貫した制御精度を提供します。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス:** O2（酸素）
* **最大制御流量（フルスケール）:** 50 SCCM
* **シール構造:** メタルシール
* **流量制御範囲:** 2% ～ 100% F.S.
* **制御精度:** ±1.0% F.S.
* **再現性:** ±0.2% F.S.
* **応答時間:** 1.0秒以下（設定値の±2%以内）
* **動作差圧:** 約 98 ～ 294 kPa
* **最大動作圧力（耐圧）:** 1.0 MPa
* **外部リークレート:** 1.0 × 10⁻¹¹ Pa・m³/sec（He）以下
* **制御バルブ動作:** 常閉（Normally Closed）
* **電気接続コネクタ:** D-sub 15ピン
* **駆動電源:** DC ±15V ±5%
* **配管接続継手:** 1/4インチ VCR相当
* **本体寸法:** W125 × D37 × H180 mm（継手・コネクタを含む外寸）