中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-D980
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- メーカー
- Aera
- 型式
- FC-D980
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスO2 流量50SCCM
W125 D37 H180 - 管理番号
- Z21080246
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | O2 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 50 SCCM |
| 外形寸法 | W125 D37 H180 mm |
FC-D980 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| バルブ | 常開(ノーマリオープン) |
|---|---|
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
| 標準継ぎ手 | 1/4"VCR |
| 取付 | ベース金具付き(全方向取付可) |
| 制御方式 | デジタル(マイコン制御) |
| コネクター | 20ピン Dサブ |
| 表示 | 前面に状態表示LED 2個(赤・緑) |
※Dシリーズは同名の新しい「FC-DR980」(液晶付きのデジタルMFC/MFM)とは別物。本機はDサブ20ピンのみで表示器を持たない。
出典: メーカー資料
Aera FC-D980 の装置概要 AIによる記述です
半導体製造装置や真空プロセス装置のガス供給ラインに組み込み、ガスの質量流量を測りながら設定値に合わせて制御するマスフローコントローラーです。流量センサーの信号をもとに内蔵の制御バルブの開度を調整し、プロセスガスを安定して供給します。制御はマイコンによるデジタル方式で、バルブは常開(ノーマリオープン)です。
フルスケールレンジはN2換算で10SCCM〜5SLMの範囲で設定されており、標準継ぎ手は1/4"VCRです。ベース金具付きのため、全方向に取り付けられます。外部機器とは20ピン Dサブコネクターで接続し、設定信号の入力や流量信号の出力を行います。前面には動作状態を示す赤・緑の状態表示LEDが2個あります。掲載品はNH3、N2、He、SF6、O2などのガス用に設定されたもので、フルスケール流量は50SCCMから1000SCCMまでのものがあります。
なお、名称の似たFC-DR980は液晶表示付きのデジタルMFC/MFMで、別の機種です。この型式は表示器を持たず、Dサブ20ピンでの接続のみです。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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