中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
堀場エステック Stec
型式SEC-E4400-MO
年式表記：
仕様:ガスHCl 流量1LM W135 D32 H130VA1F36
仕様:ガスHCl 流量1LM W135 D32 H130VA1F36
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種工業プロセスにおいて、ガス流量を極めて高い精度で自動制御するために設計されたデジタルマスフローコントローラーです。ガス接触部には、腐食性の強いガスに対する優れた耐食性と、極めて微量な外部漏洩を防ぐ高い気密性を兼ね備えたメタルシール構造が採用されています。これにより、塩化水素（HCl）をはじめとする腐食性や反応性の高いガスを安全かつ安定して制御・供給することが可能です。バルブ形式には、非通電時や異常時にバルブが開く「常時開（Normally Open）」タイプが組み込まれており、高速な応答性能と優れた再現性により、各種プロセスの安定化に貢献します。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス**: 塩化水素（HCl）
* **制御流量（フルスケール）**: 1 L/min
* **バルブ動作仕様**: 常時開（Normally Open）
* **シール構造**: メタルシール
* **外形寸法**: 幅 135 mm × 奥行 32 mm × 高さ 130 mm
* **接続ポート仕様**: 1/4" VCR相当（接続コード：VA1F36）
* **流量精度**: ±1.0% F.S.
* **応答時間**: 1.0秒以内
* **制御流量範囲**: 2% ～ 100% F.S.
* **動作差圧範囲**: 50 ～ 300 kPa
* **耐圧性能**: 1.0 MPa (G)
* **外部リーク量**: 1 × 10⁻¹¹ Pa・m³/sec 以下（He測定値）
本装置は、半導体製造プロセスや各種工業プロセスにおいて、ガス流量を極めて高い精度で自動制御するために設計されたデジタルマスフローコントローラーです。ガス接触部には、腐食性の強いガスに対する優れた耐食性と、極めて微量な外部漏洩を防ぐ高い気密性を兼ね備えたメタルシール構造が採用されています。これにより、塩化水素（HCl）をはじめとする腐食性や反応性の高いガスを安全かつ安定して制御・供給することが可能です。バルブ形式には、非通電時や異常時にバルブが開く「常時開（Normally Open）」タイプが組み込まれており、高速な応答性能と優れた再現性により、各種プロセスの安定化に貢献します。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス**: 塩化水素（HCl）
* **制御流量（フルスケール）**: 1 L/min
* **バルブ動作仕様**: 常時開（Normally Open）
* **シール構造**: メタルシール
* **外形寸法**: 幅 135 mm × 奥行 32 mm × 高さ 130 mm
* **接続ポート仕様**: 1/4" VCR相当（接続コード：VA1F36）
* **流量精度**: ±1.0% F.S.
* **応答時間**: 1.0秒以内
* **制御流量範囲**: 2% ～ 100% F.S.
* **動作差圧範囲**: 50 ～ 300 kPa
* **耐圧性能**: 1.0 MPa (G)
* **外部リーク量**: 1 × 10⁻¹¹ Pa・m³/sec 以下（He測定値）