中古 堀場エステック Stec マスフローコントローラー（MFC） SEC-E4400-MO
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- メーカー
- 堀場エステック Stec
- 型式
- SEC-E4400-MO
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスHCl 流量1LM
W135 D32 H130VA1F36 - 管理番号
- Z21080289
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | HCl |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 1 LM |
| 外形寸法 | W135 D32 H130 mm |
| 現品銘板の型式 | SEC-4400-MO(STEC INC. JAPAN) |
SEC-E4400-MO の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 校正ガス | HCl(塩化水素) |
|---|---|
| 窒素換算コンバージョンファクタ(C.F.) | 1.00(N2基準) |
| 制御方式 | 熱式質量流量センサ + 制御バルブ |
※校正ガスと流量は現品の銘板から読み取った値。同じ型式でもガス種とフルスケールは個体ごとに違う。
※メーカー仕様書(精度・使用圧力・継手・応答時間)は取得できていない。SEC-4400 シリーズはメーカーサイトから消えている。
※塩化水素は強い腐食性ガス。流した履歴があるため、洗浄状態の確認を勧める。
※校正ガス以外で使うときは換算係数が必要。
※掲載型式は「SEC-E4400MO」だが、銘板は「SEC-4400-MO」(E が無い)。
出典: 現品の銘板
堀場エステック Stec SEC-E4400-MO の装置概要 AIによる記述です
ガスの質量流量を計測しながら、設定値に合わせて流量を自動で制御するマスフローコントローラーです。熱式質量流量センサで、流れるガスが運ぶ熱の量から質量流量を検出し、内蔵の制御バルブの開度を調整して流量を設定値に保ちます。温度や圧力の変動の影響を受けにくい質量流量で制御できるため、半導体製造装置の成膜やエッチング、研究用のガス供給ラインなどで、プロセスガスを安定して供給する用途に使われます。
現品の銘板では、校正ガスがHCl(塩化水素)、フルスケール流量が1 L/min、窒素換算のコンバージョンファクタ(C.F.)が1.00(N2基準)と表示されています。同じ型式でも校正ガスとフルスケールは個体ごとに異なります。校正ガス以外のガスで使う場合は、換算係数による補正が必要です。精度、使用圧力、継手、応答時間はメーカー仕様書で確認できていません。塩化水素は腐食性の強いガスで、この個体には流した履歴があるため、使用前に内部の洗浄状態を確認することを勧めます。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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