中古機 マスフローコントローラー（MFC） Unit製、型式UFC-1200のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種産業・研究開発におけるガス流量制御において、長年にわたり信頼性を培ってきた熱式マスフローコントローラーです。内部に高精度な熱式センサーとバイパス回路、細心の調整が施されたコントロールバルブを搭載しており、温度や圧力の変動に左右されない安定した質量流量制御を実現します。

本個体は、アルゴン（Ar）ガス専用として、最大流量500 SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）の仕様に調整されています。信頼性の高いメタルシールまたはエラストマーシール（個体の詳細仕様による）を採用しており、外部へのガス漏洩を最小限に抑え、プロセスの高純度維持に貢献します。外部制御信号には一般に広く普及しているアナログインターフェースが採用されており、既存の生産設備や実験システムへの組み込み、置き換えがスムーズに行える点が特徴です。経年変化に強く、堅牢な構造設計により、長期にわたり安定したガス供給ラインの構築をサポートします。

【AIによる参考仕様】
※メーカー公表の標準的なシリーズ仕様に基づく参考値です。本中古品の現有状態とは異なる場合があります。

* **対応ガス**: アルゴン（Ar）
* **最大制御流量**: 500 SCCM
* **流量制御範囲（レンジ比）**: 2% ～ 100% F.S.（フルスケール）
* **制御精度**: ±1.0% F.S. 以内
* **再現性**: ±0.2% F.S. 以内
* **応答時間**: 約2秒（F.S.の10%から90%への到達時間）
* **動作圧力範囲**: 0.1 MPa ～ 0.3 MPa（差圧条件による）
* **耐圧**: 最大 1.0 MPa
* **外部リーク量**: 1 × 10^-9 Pa・m3/sec（He）以下
* **入力・出力信号**: 0 - 5 VDC （アナログ）
* **動作電源**: 15 VDC（±15 VDCデュアル電源）
* **継手サイズ/形状**: 1/4インチ VCR仕様（または同等品継手）
* **シール材質**: メタルまたはフッ素ゴム（バルブシート部含む）