中古機 マスフローコントローラー（MFC） Tylan製、型式FC-780Cのご紹介

【AIによる装置概要】
半導体製造プロセスや薄膜堆積装置などの精密なガス流量制御用途に使用される、アナログ式の熱式マスフローコントローラー（MFC）です。腐食性を有するSiH2Cl2（ジクロロシラン）ガス専用としてキャリブレーションが施されており、最大100SCCMまでの微小流量域において精密なガス供給を可能にします。接ガス部には高い耐食性を備えた材料が採用されており、反応性ガスによる劣化を抑え、長期にわたり安定した制御精度を維持します。アナログインターフェース（0〜5 VDC）に対応しているため、既存の製造装置のアナログ制御ラインへの組み込みや、メンテナンス時の交換用デバイスとして適しています。

【AIによる参考仕様】
* **対応ガス種類**: SiH2Cl2（ジクロロシラン）
* **フルスケール流量**: 100 SCCM
* **制御信号（入力/出力）**: 0 ～ 5 VDC
* **動作電源**: ±15 VDC
* **制御バルブ形式**: ノーマリークローズ（常時閉）
* **外形寸法**: W125 mm × D33 mm × H150 mm
* **流量精度**: ±1.0% F.S.
* **直線性**: ±0.5% F.S.
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **応答時間**: 2秒以下（代表値）