中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Tylan
型式FC-770AC
年式表記：
仕様:流量20SCCM ガスAr
仕様:流量20SCCM ガスAr
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、高精度なガス流量制御を実現する熱式マスフローコントローラです。半導体製造プロセスや各種研究開発用装置のガス導入ラインにおいて、長年にわたり信頼性と導入実績を積み重ねてきたモデルの設計思想を継承しています。
内部に搭載された高精度な熱式流量センサー、バイパス、ソレノイド駆動式のコントロールバルブ、および制御回路の連携により、外部からの設定信号に応じてバルブ開度をリアルタイムに自動調整し、安定した流量供給を維持します。
本個体は、アルゴン（Ar）ガス専用として、フルスケール20 SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）の微小流量域で校正されています。優れた応答性と再現性を備えており、スパッタリング装置やCVD装置など、厳密な雰囲気制御が求められる真空プロセスに最適です。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス種：** Ar（アルゴン）
* **最大制御流量（フルスケール）：** 20 SCCM
* **流量制御範囲：** 2% 〜 100% F.S.（フルスケール）
* **流量測定方式：** 熱式質量流量測定
* **精度（アキュラシー）：** ±1.0% F.S.
* **直線性（リニアリティ）：** ±0.5% F.S.
* **再現性：** ±0.2% F.S.
* **応答速度：** 2秒以下（設定値の±2%以内に到達するまでの時間）
* **動作差圧範囲：** 約 0.05 MPa 〜 0.3 MPa
* **耐圧：** 最大 1.0 MPa
* **外部制御信号（入力）：** 0 〜 5 VDC
* **流量出力信号（出力）：** 0 〜 5 VDC
* **動作電源：** +15 VDC（最大約100mA） / -15 VDC（最大約250mA）
* **バルブ動作形式：** 常時閉（Normally Closed / NC）
* **シール材質：** エラストマー（フッ素ゴム / Viton）
* **電気コネクタ：** D-sub 15ピン または 20ピンカードエッジ（仕様による）
本装置は、高精度なガス流量制御を実現する熱式マスフローコントローラです。半導体製造プロセスや各種研究開発用装置のガス導入ラインにおいて、長年にわたり信頼性と導入実績を積み重ねてきたモデルの設計思想を継承しています。
内部に搭載された高精度な熱式流量センサー、バイパス、ソレノイド駆動式のコントロールバルブ、および制御回路の連携により、外部からの設定信号に応じてバルブ開度をリアルタイムに自動調整し、安定した流量供給を維持します。
本個体は、アルゴン（Ar）ガス専用として、フルスケール20 SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）の微小流量域で校正されています。優れた応答性と再現性を備えており、スパッタリング装置やCVD装置など、厳密な雰囲気制御が求められる真空プロセスに最適です。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス種：** Ar（アルゴン）
* **最大制御流量（フルスケール）：** 20 SCCM
* **流量制御範囲：** 2% 〜 100% F.S.（フルスケール）
* **流量測定方式：** 熱式質量流量測定
* **精度（アキュラシー）：** ±1.0% F.S.
* **直線性（リニアリティ）：** ±0.5% F.S.
* **再現性：** ±0.2% F.S.
* **応答速度：** 2秒以下（設定値の±2%以内に到達するまでの時間）
* **動作差圧範囲：** 約 0.05 MPa 〜 0.3 MPa
* **耐圧：** 最大 1.0 MPa
* **外部制御信号（入力）：** 0 〜 5 VDC
* **流量出力信号（出力）：** 0 〜 5 VDC
* **動作電源：** +15 VDC（最大約100mA） / -15 VDC（最大約250mA）
* **バルブ動作形式：** 常時閉（Normally Closed / NC）
* **シール材質：** エラストマー（フッ素ゴム / Viton）
* **電気コネクタ：** D-sub 15ピン または 20ピンカードエッジ（仕様による）