中古機 マスフローコントローラー（MFC） 堀場エステック　Stec製、型式SEC-4400Rのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや真空装置、各種分析機器などのガス供給ラインにおいて、高精度な流量制御を行うデジタルマスフローコントローラーです。内部にマイクロプロセッサと高感度な熱式流量センサーを搭載しており、周囲の温度や圧力の変動に影響されにくい安定したガス流量の計測と制御を実現します。

シール材質にエラストマー（フッ素ゴム等）を採用したラバーシールモデルであり、バルブ駆動部にはピエゾアクチュエータを搭載しています。これにより、全流量域において1秒以内という高速な応答性能を備えています。対応するフルスケール流量は微小な10 SCCMから最大50 SLM（N2換算）までの幅広いレンジをカバーし、流量精度は±1.0% F.S.を確保しています。

制御インターフェースは、従来のアナログ信号（0〜5VDC）による入出力に加え、RS-485準拠のデジタル通信にも対応しているため、既存の制御システムへの柔軟な組み込みが可能です。研究開発用途から工業用の量産ラインまで、多岐にわたる環境での精密なガス制御に適した装置です。

【AIによる参考仕様】
対応フルスケール流量: 10 SCCM ～ 50 SLM（N2換算）※実際のレンジ・ガス種は個体設定により異なります
流量精度: ±1.0% F.S.
応答速度: 1秒以内
シール材質: エラストマー（フッ素ゴム等）
バルブ駆動方式: ピエゾアクチュエータ
アナログ入出力信号: 0 ～ 5 VDC
デジタル通信インターフェース: RS-485
動作温度範囲: 5 ～ 50 ℃
耐圧: 1 MPa (G)
供給電源: ±15 VDC