中古機 マスフローコントローラー（MFC） Aera製、型式FC-R7710CDのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種産業用途において、ガスの質量流量を高精度に測定・制御する熱式マスフローコントローラー（MFC）です。高速応答性と高い再現性を備えており、プロセスの安定化に貢献します。

流量制御部にはサーマルセンサーと高速ソレノイドアクチュエータ（電磁式バルブ）を搭載し、流体の温度や圧力の変化に左右されない安定した質量流量制御を実現しています。接続コネクタにはD-sub 9ピン（または仕様により15ピン等）のアナログインターフェースが採用されており、外部からの流量設定信号（0-5 VDC等）に応じた正確なバルブ開度調整が可能です。本個体は、プロセスガスとして亜酸化窒素（N2O）向けに調整されており、フルスケール流量は5SLM（Standard Liters per Minute）の仕様となっています。長年の実績を持つ頑健な筐体設計により、クリーンかつ信頼性の高いガス供給ラインの構築に最適です。

【AIによる参考仕様】
※メーカー公表の同シリーズ（FC-R7700/FC-R7710シリーズ）の代表的な仕様に基づきます。個体ごとの実際の調整状態やオプションにより異なる場合があります。

* **対応ガス**: N2O（亜酸化窒素）
* **最大流量（フルスケール）**: 5 SLM
* **制御範囲**: 2% ～ 100% F.S.
* **精度**: ±1.0% F.S.（フルスケールに対して）
* **直線性**: ±0.5% F.S.
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **応答時間**: 2秒以下（0% → 100% F.S.到達時）
* **動作差圧範囲**: 98 kPa ～ 294 kPa（標準値。ガス種や流量により異なる場合があります）
* **耐圧**: 1.0 MPa
* **外部漏洩量**: 1 × 10^-11 Pa・m³/sec He以下
* **動作温度範囲**: 5℃ ～ 50℃
* **接ガス部材質**: SUS316L、フッ素ゴム（エラストマーシール仕様の場合）
* **電気接続**: D-sub 9ピン（または15ピン、D-sub仕様による）
* **制御信号（入力/出力）**: 0 ～ 5 VDC
* **供給電源**: +15 VDC、-15 VDC
* **継手サイズ**: 1/4インチ VCR相当（またはSWL相当）