中古機 マスフローコントローラー（MFC） Tylan製、型式FC-781Cのご紹介

【AIによる装置概要】
本マスフローコントローラーは、半導体製造プロセスや各種産業用のガス供給ラインにおいて、気体の質量流量を高精度に計測・制御するための機器です。本個体は酸素（O2）ガス用に調整されており、最大20 SLM（Standard Liters per Minute）の流量域まで対応します。内部には、気体の質量流量を直接検出する熱式センサーと、応答性に優れた電磁式コントロールバルブを搭載しています。これにより、一次側（供給側）の圧力変動や温度変化に左右されず、設定された流量を極めて安定して維持します。外形寸法は幅150mm、奥行き37mm、高さ130mmのコンパクトな設計となっており、既存のガスパネルへの組み込みや、限られたスペースへの設置に適しています。アナログ制御により、外部システムからの正確な流量指令値の入力を受けて安定したガス供給プロセスをサポートします。

【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス**：O2（酸素）
* **最大制御流量**：20 SLM
* **流量制御範囲**：2% 〜 100% F.S.
* **制御精度**：±1.0% F.S.
* **再現性**：±0.2% F.S.
* **応答時間**：2.0秒以下（設定値の±2%以内に到達する時間）
* **バルブ動作形式**：常時閉（Normally Closed / N.C.）
* **制御信号**：0 〜 5 VDC
* **使用周囲温度**：5℃ 〜 50℃
* **最大動作圧力**：1.0 MPa
* **外形寸法**：W150 × D37 × H130 mm（継手等を含む概略値）
* **継手サイズ**：1/4インチ（本体寸法より類推）

※上記の仕様値は標準的な同系統機種のスペックに基づいた参考情報です。中古機械の性質上、実際の校正状況や内部パーツの構成によって異なる場合があります。